サーマル・エバポレーターは、真空蒸着プロセスで基板上に薄膜を蒸着するために使用される装置である。高真空中で材料を気化点まで加熱し、蒸気を基板上に凝縮させて薄膜を形成する。
加熱と気化のプロセス：
サーマル・エバポレーターは、電気抵抗ヒーターを使用して材料を溶かし、その蒸気圧を有用な範囲まで上昇させる。加熱プロセスは高真空中で行われ、これには2つの主な目的がある。蒸気が他の気相原子と相互作用することなく基板まで移動できるようにすることと、真空チャンバー内の残留ガスからの不純物の混入を減らすことである。この方法は、フィルムの汚染を避けるため、発熱体と比較して蒸気圧が高い材料に適している。熱蒸発の種類
- 熱蒸発には主に2つのタイプがある：
- 電気抵抗加熱： この方法では、ワイヤーまたは導電性るつぼで材料を直接加熱する。容器を損傷することなく高温に加熱できる材料に適している。
電子ビーム蒸発： このより高度な方法では、高エネルギーの電子ビームを使用して材料の小さなスポットを加熱し、蒸気圧の低い材料の蒸発を可能にする。電子ビームは通常、ガンフィラメントを蒸発剤フラックスから保護するために大きな角度で曲げられます。
蒸着と膜形成：
気化した材料が基板に到達すると、凝縮して薄膜を形成する。薄膜の厚さは、蒸発剤の温度、蒸着速度、蒸発剤と基板間の距離などのパラメータを調整することで制御できる。用途と利点
熱蒸着は、太陽電池、OLEDディスプレイ、MEMSなどの電子・光学デバイスの製造に広く使用されている。幅広い材料を蒸着できる汎用性と、高品質の薄膜を製造できる能力が評価されている。
実用的な考察
