水素炉は、水素または水素と窒素の混合ガスを保護雰囲気とする特殊な加熱装置である。主にセラミック焼結、金属化、ろう付け、ガラス封着、アニール、純化、粉末冶金の焼結、半導体の合金化などのプロセスに使用される。これらの炉における水素の使用は、表面酸化物の低減、急速な加熱と冷却の促進、酸素の消費による腐食の防止など、さまざまな目的を果たす。
セラミック焼結とメタライゼーション：
水素炉はセラミック焼結に最適で、材料の酸化を防ぐ制御された環境を提供します。酸化はセラミックの特性を変化させる可能性があるため、これは極めて重要です。同様に、金属化においても、炉はセラミックに施される金属コーティングに不純物がないことを保証し、耐久性と導電性を高めます。ろう付け：
水素炉によるろう付けでは、制御された水素雰囲気の中で精密なプロセスが行われます。この環境は、接合される材料の表面酸化物の低減に役立ち、高強度のろう付け接合につながります。酸化や汚染物質がないため、表面は清浄で光沢があり、追加処理なしで次の組み立てが可能です。
ガラスシーリングとアニール
水素炉は金属部品をガラスで封止するために使用され、強固な気密性を確保します。材料をゆっくりと冷却して内部応力を緩和するアニーリングプロセスも、水素雰囲気中で強化され、酸化を防止して材料全体の品質を向上させます。粉末冶金の精製と焼結：
粉末冶金の焼結では、水素炉は汚染を防ぐクリーンな環境を提供し、金属粉末の固体構造への圧密を促進します。さらに、水素雰囲気が材料から不純物を除去する精製プロセスにも使用されます。
半導体の合金化
半導体産業では、酸化を防止し半導体材料の純度を確保するために雰囲気を正確に制御することが求められる合金化プロセスにおいて、水素炉は極めて重要です。
