MPCVDの周波数は2.45GHzである。これはMPCVDシステムのマイクロ波発生装置が作動する周波数である。
マイクロ波放射は、真空チャンバー内でプラズマを発生させ、ダイヤモンド成膜に理想的な環境を作り出すために使用されます。
プラズマ中の電子は、マイクロ波放射からエネルギーを吸収し、最高5273Kの温度に達します。
この方法で最も一般的に使用されるマイクロ波の周波数は、2.45GHzと915MHzです。
MPCVDの周波数とは？(4つのポイント）
1.MPCVDの動作周波数
MPCVD の周波数は 2.45 GHz です。これはMPCVDシステムのマイクロ波発生装置が動作する周波数である。
2.プラズマ生成
マイクロ波放射は、真空チャンバー内でプラズマを発生させるために使用され、ダイヤモンド成膜に理想的な環境を作り出します。
3.電子温度
プラズマ中の電子はマイクロ波からエネルギーを吸収し、最高温度5273Kに達します。
4.一般的なマイクロ波周波数
この方法で最もよく使われるマイクロ波の周波数は、2.45GHzと915MHzである。
5.MPCVD法の利点
MPCVD法は、他のダイヤモンド合成法に比べていくつかの利点があります。
DC-PJ CVD法と比較すると、MPCVD法は、マイクロ波パワーのスムーズで連続的な調整と反応温度の安定した制御が可能です。
これは、アーク放電や火炎故障による結晶シードの基板からの脱落の問題を回避するのに役立ちます。
反応室の構造を調整し、マイクロ波出力と圧力を制御することにより、高品質で大きなサイズの単結晶ダイヤモンドの製造に必要な安定した放電プラズマの大面積を得ることができます。
したがって、MPCVD法は、工業的応用に最も有望なダイヤモンド合成法であると考えられている。
6.MPCVD法のその他の応用
MPCVD法は、ダイヤモンド合成における利点に加え、グラフェンの製造など他の用途にも使用されている。
2.45GHzの周波数は、薄膜セル製造システム用のMPECVDチャンバーの設計に使用されている。
チャンバー内のスロットの配置は共振モードに影響し、中央と底の位置では、2.45GHzでそれぞれTE111とTM011モードが発生する。
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