薄膜を蒸着する場合、一般的な方法は熱蒸着と電子ビーム蒸着の2つである。
考慮すべき5つのポイント
1.蒸発の方法
熱蒸発法では、材料を入れたるつぼを電流で加熱する。
これにより、材料が溶けて蒸発する。
一方、電子ビーム蒸発法は、高エネルギーの電子ビームを使用して材料を直接加熱する。
2.材料への適性
熱蒸発法は融点の低い材料に適している。
その結果、不純物のリスクが高く、密度の低い薄膜コーティングになる。
電子ビーム蒸着は、特に高融点材料に有効である。
3.蒸着速度と純度
サーマルエバポレーションは蒸着速度が低く、コーティングの密度が低くなります。
電子ビーム蒸着は蒸着速度が速く、得られる薄膜の純度が高い。
4.一般的な用途
熱蒸着は、金属や合金の薄膜蒸着によく使用される。
純度が高く、基板との密着性に優れた薄膜が得られます。
電子ビーム蒸着は、耐火性金属や光学薄膜の成膜に適している。
5.制御と多様性
熱蒸発法はより単純で、コストが低い可能性がある。
しかし、効果的に処理できる材料の種類には制限がある。
電子ビーム蒸発法は、一般的に制御性が高く、純度が高く、幅広い材料を扱うことができます。
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