熱蒸着とスパッタリングは、薄膜の成膜によく使われる2つの方法である。
それぞれの方法には長所と短所がある。
ここでは、スパッタリング法に対する熱蒸発法の利点に焦点を当てます。
スパッタリング法に対する熱蒸着法の利点とは？(5つのポイント)
1.蒸発速度が速い
熱蒸発法は蒸発速度が速い。
つまり、蒸着プロセスがより早く完了します。
その結果、スループットが向上し、大量生産が可能になります。
2.費用対効果と簡便性
熱蒸着は、スパッタリングに比べてコスト効率が高く、複雑さも少ない。
そのため、多くのラボや生産施設にとって、より利用しやすい選択肢となっている。
3.厚膜蒸着能力
熱蒸着では、フラッシュ蒸着やるつぼのような方法で厚膜を蒸着することができます。
これは、特に厚いコーティングが必要な場合に有利です。
4.様々な材料に対応
サーマルエバポレーションは、金属や非金属、特に融点の低い材料の薄膜の成膜に特に適しています。
また、ステップカバレッジの向上が必要な材料や、幅広い材料を扱う場合にも有効です。
5.基板損傷リスクの低減
熱蒸発プロセスに含まれるエネルギーは、蒸発させる原料の温度に依存する。
このため、基材を損傷する可能性が低くなります。
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