知識 スパッタリングの例とは?(5つのポイントを解説)
著者のアバター

技術チーム · Kintek Solution

更新しました 1 month ago

スパッタリングの例とは?(5つのポイントを解説)

スパッタリングは物理的気相成長法であり、高エネルギー粒子(通常はプラズマまたはガス)からの砲撃により、原子が固体ターゲット材料から放出される。

このプロセスは、半導体製造やナノテクノロジーを含む様々な産業において、精密エッチング、分析技術、薄膜層の蒸着に使用されている。

5つのポイントの説明

スパッタリングの例とは?(5つのポイントを解説)

1.スパッタリングのメカニズム

スパッタリングは、固体材料が高エネルギー粒子(通常はプラズマやガスからのイオン)に衝突することで発生する。

これらのイオンは材料の表面と衝突し、原子を表面から放出させる。

このプロセスは、入射イオンからターゲット材料の原子へのエネルギー移動によって駆動される。

2.スパッタリングの応用

薄膜蒸着

スパッタリングは、光学コーティング、半導体デバイス、ナノテクノロジー製品の製造に不可欠な薄膜の成膜に広く利用されている。

スパッタ薄膜の均一性、密度、密着性は、これらの用途に理想的である。

精密エッチング

材料を層ごとに正確に除去できるスパッタリングは、複雑な部品やデバイスの製造に不可欠なエッチング工程に役立ちます。

分析技術

スパッタリングは、材料の組成や構造を顕微鏡レベルで調べる必要がある分析技術にも採用されている。

3.スパッタリングプロセスの種類

マグネトロンスパッタリング

最も一般的なタイプの一つで、磁場を用いてガスのイオン化を促進し、スパッタリングプロセスの効率を高める。

ダイオードスパッタリング

ターゲットと基板をダイオードの2つの電極に見立て、直流(DC)電圧を印加してスパッタリングを開始する。

イオンビームスパッタリング

この方法では、集束したイオンビームをターゲットに直接照射するため、成膜プロセスを精密に制御できる。

4.歴史的発展

スパッタリング現象は19世紀半ばに初めて観察されたが、産業用途に利用され始めたのは20世紀半ばになってからである。

真空技術の発展と、エレクトロニクスや光学における精密な材料成膜の必要性が、スパッタリング技術の進歩を促した。

5.現状と将来展望

スパッタリング技術は著しく成熟し、1976年以来45,000件以上の米国特許が発行されている。

この分野での継続的な技術革新により、特に半導体製造とナノテクノロジーの分野で、その能力がさらに高まることが期待される。

探索を続け、私たちの専門家にご相談ください

KINTEK SOLUTIONの最先端スパッタリングシステムで、研究および生産能力を向上させましょう。

半導体やナノテクノロジー分野における薄膜蒸着、精密エッチング、高度な分析技術向けに調整された当社の技術の精度と効率をご体験ください。

当社の革新的なスパッタリングソリューションが、お客様の研究室の可能性をどのように変えることができるかをご覧ください。

今すぐKINTEK SOLUTIONにご連絡いただき、次の画期的なプロジェクトの可能性を引き出してください!

関連製品

タングステンチタン合金(WTi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

タングステンチタン合金(WTi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

手頃な価格の実験室用タングステン チタン合金 (WTi) 材料をご覧ください。当社の専門知識により、さまざまな純度、形状、サイズのカスタム材料を製造することができます。幅広いスパッタリング ターゲット、パウダーなどからお選びいただけます。

高純度アルミニウム(Al)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度アルミニウム(Al)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質アルミニウム (Al) 材料を手頃な価格で入手できます。当社は、お客様固有のニーズを満たすために、スパッタリング ターゲット、粉末、フォイル、インゴットなどを含むカスタマイズされたソリューションを提供します。今すぐ注文!

高純度コバルト(Co)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度コバルト(Co)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

お客様独自のニーズに合わせた、実験室用のコバルト (Co) 材料を手頃な価格で入手できます。当社の製品には、スパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどが含まれます。カスタマイズされたソリューションについては、今すぐお問い合わせください。

高純度鉛(Pb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度鉛(Pb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質の鉛 (Pb) 材料をお探しですか?スパッタリング ターゲット、コーティング材料などを含む、カスタマイズ可能なオプションの専門的なセレクション以外に探す必要はありません。競争力のある価格については今すぐお問い合わせください。

プラズマ蒸着PECVDコーティング機

プラズマ蒸着PECVDコーティング機

PECVD コーティング装置でコーティング プロセスをアップグレードします。 LED、パワー半導体、MEMSなどに最適です。低温で高品質の固体膜を堆積します。

銅ジルコニウム合金(CuZr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

銅ジルコニウム合金(CuZr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

お客様の独自の要件に合わせた、手頃な価格の銅ジルコニウム合金材料のラインナップをご覧ください。スパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどの当社のセレクションをご覧ください。

高純度サマリウム(Sm)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度サマリウム(Sm)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用のサマリウム (Sm) 材料をお探しですか?スパッタリングターゲット、コーティング材、粉体などを豊富なサイズ・仕様からお求めやすい価格でご提供いたします。お客様固有の要件に合わせてカスタマイズします。

高純度イリジウム(Ir)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度イリジウム(Ir)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用の高品質イリジウム (Ir) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門的に製造および調整された材料は、お客様の固有のニーズに合わせてさまざまな純度、形状、サイズで提供されます。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどの製品ラインナップをご覧ください。今すぐ見積もりを入手してください。

高純度鉄(Fe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度鉄(Fe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用に手頃な価格の鉄 (Fe) 材料をお探しですか?当社の製品範囲には、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズされた、さまざまな仕様とサイズのスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などが含まれます。今すぐご連絡ください。

高純度プラチナ(Pt)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度プラチナ(Pt)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度のプラチナ(Pt)スパッタリングターゲット、粉末、ワイヤー、ブロック、顆粒を手頃な価格で提供します。さまざまな用途に合わせてさまざまなサイズと形状を用意しており、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズできます。

高純度クロム(Cr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度クロム(Cr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズに合わせたクロム材料を手頃な価格で入手できます。当社は、スパッタリング ターゲット、フォイル、パウダーなどを含むカスタムの形状やサイズを製造します。今すぐご連絡ください。

高純度シリコン(Si)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度シリコン(Si)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質シリコン (Si) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社のカスタム生産されたシリコン (Si) 材料には、お客様固有の要件に合わせてさまざまな純度、形状、サイズが用意されています。スパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどの当社のセレクションをご覧ください。今すぐ注文!

RF PECVD システム 高周波プラズマ化学蒸着

RF PECVD システム 高周波プラズマ化学蒸着

RF-PECVD は、「Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition」の頭字語です。ゲルマニウムおよびシリコン基板上にDLC(ダイヤモンドライクカーボン膜)を成膜します。 3~12umの赤外線波長範囲で利用されます。

電子銃ビームるつぼ

電子銃ビームるつぼ

電子銃ビーム蒸着の場合、るつぼは、基板上に蒸着する材料を入れて蒸着するために使用される容器またはソースホルダーです。

炭化ホウ素(BC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

炭化ホウ素(BC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

ラボのニーズに合わせて、高品質の炭化ホウ素材料を手頃な価格で入手できます。当社は、スパッタリング ターゲット、コーティング、粉末などを含む、さまざまな純度、形状、サイズの BC 材料をカスタマイズします。

チタンシリコン合金(TiSi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

チタンシリコン合金(TiSi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

ラボ用の手頃な価格のチタン シリコン合金 (TiSi) 材料をご覧ください。当社のカスタム生産では、スパッタリング ターゲット、コーティング、粉末などのさまざまな純度、形状、サイズを提供しています。あなたの独自のニーズに最適なものを見つけてください。

絞り型ナノダイヤモンドコーティング HFCVD装置

絞り型ナノダイヤモンドコーティング HFCVD装置

ナノダイヤモンド複合コーティング引抜ダイスは、超硬合金(WC-Co)を基材とし、化学気相法(略してCVD法)を用いて従来のダイヤモンドとナノダイヤモンド複合コーティングを金型の内孔表面にコーティングする。

真空誘導溶解炉 アーク溶解炉

真空誘導溶解炉 アーク溶解炉

真空誘導溶解炉で正確な合金組成を得る。航空宇宙、原子力、電子産業に最適です。金属と合金の効果的な製錬と鋳造のために今すぐご注文ください。

炭化ケイ素(SiC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

炭化ケイ素(SiC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質の炭化ケイ素 (SiC) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門家チームは、お客様の正確なニーズに合わせて SiC 材料をリーズナブルな価格で製造および調整します。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどの製品ラインナップを今すぐご覧ください。

電子ビーム蒸着黒鉛るつぼ

電子ビーム蒸着黒鉛るつぼ

主にパワーエレクトロニクス分野で使用される技術。炭素原料を電子ビーム技術を用いて材料蒸着により作製したグラファイトフィルムです。

耐高温光学石英ガラスシート

耐高温光学石英ガラスシート

電気通信、天文学、その他の分野で正確な光を操作するための光学ガラス シートの力を発見してください。卓越した透明度とカスタマイズされた屈折特性により、光学技術の進歩を解き放ちます。

硫化亜鉛(ZnS)ウィンドウ/ソルトシート

硫化亜鉛(ZnS)ウィンドウ/ソルトシート

光学硫化亜鉛 (ZnS) ウィンドウは、8 ~ 14 ミクロンの優れた IR 透過範囲を備えています。過酷な環境に対する優れた機械的強度と化学的不活性性 (ZnSe ウィンドウよりも硬い)

赤外線シリコン/高抵抗シリコン/単結晶シリコンレンズ

赤外線シリコン/高抵抗シリコン/単結晶シリコンレンズ

シリコン (Si) は、約 1 μm ~ 6 μm の近赤外 (NIR) 範囲での用途に最も耐久性のある鉱物材料および光学材料の 1 つとして広く知られています。

セレン化亜鉛(ZnSe)ウィンドウ/基板/光学レンズ

セレン化亜鉛(ZnSe)ウィンドウ/基板/光学レンズ

セレン化亜鉛は、亜鉛蒸気と H2Se ガスを合成することによって形成され、グラファイト サセプター上にシート状の堆積物が形成されます。

実験室用光学超透明ガラスシート K9 / B270 / BK7

実験室用光学超透明ガラスシート K9 / B270 / BK7

光学ガラスは、他の種類のガラスと多くの特性を共有していますが、光学用途にとって重要な特性を強化する特定の化学物質を使用して製造されます。

光学石英板 JGS1 / JGS2 / JGS3

光学石英板 JGS1 / JGS2 / JGS3

石英板は透明で耐久性があり、さまざまな業界で広く使用されている多用途部品です。高純度水晶を使用しており、耐熱性、耐薬品性に優れています。

研究室用フロートソーダライム光学ガラス

研究室用フロートソーダライム光学ガラス

ソーダ石灰ガラスは、薄膜/厚膜堆積用の絶縁基板として広く愛用されており、溶融した錫の上に溶融したガラスを浮遊させることによって作成されます。この方法により、均一な厚さと非常に平坦な表面が保証されます。

CVDダイヤモンドコーティング

CVDダイヤモンドコーティング

CVD ダイヤモンドコーティング: 切削工具、摩擦、音響用途向けの優れた熱伝導性、結晶品質、接着力

光学窓

光学窓

ダイヤモンド光学ウィンドウ: 優れた広帯域赤外線透過性、優れた熱伝導性、赤外線散乱の低さ、高出力 IR レーザーおよびマイクロ波ウィンドウ用途向け。

高純度錫(Sn)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度錫(Sn)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用の高品質の錫 (Sn) 材料をお探しですか?当社の専門家は、カスタマイズ可能な錫 (Sn) 材料を手頃な価格で提供します。今すぐさまざまな仕様とサイズをチェックしてください。

高純度亜鉛(Zn)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度亜鉛(Zn)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質の亜鉛 (Zn) 材料を手頃な価格で見つけてください。当社の専門家は、お客様のニーズに合わせて、さまざまな純度、形状、サイズの材料を製造およびカスタマイズします。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料などをご覧ください。

高純度カーボン(C)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度カーボン(C)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす手頃な価格のカーボン (C) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門的に製造および調整された素材には、さまざまな形状、サイズ、純度があります。スパッタリング ターゲット、コーティング材料、パウダーなどからお選びいただけます。

高純度ゲルマニウム(Ge)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度ゲルマニウム(Ge)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質の金素材を手頃な価格で入手できます。当社のカスタムメイドの金素材は、お客様の独自の要件に合わせてさまざまな形状、サイズ、純度で提供されます。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、ホイル、パウダーなどの製品ラインナップをご覧ください。

高純度ジルコニウム(Zr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度ジルコニウム(Zr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質のジルコニウム材料をお探しですか?当社の手頃な価格の製品には、お客様固有の要件に合わせてカスタマイズされたスパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどが含まれます。今すぐご連絡ください。


メッセージを残す