知識 加速時にスパッタリングが発生する原因は?
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 3 months ago

加速時にスパッタリングが発生する原因は?

エンジンに関して言えば、加速時のスパッタリングは一般的に燃料系統の問題が原因です。これには、燃料フィルタ、燃料ポンプ、燃料インジェクタの問題が含まれます。これらのコンポーネントは、燃料タンクからエンジンのフュエル・インジェクターへ燃料がスムーズに流れ、エンジンに均等に行き渡るように連携しています。

物理学の文脈では、スパッタリングとは、プラズマやガスの高エネルギー粒子によって固体材料の微小粒子がその表面から放出される現象を指す。このプロセスは宇宙空間で自然に発生し、精密部品の摩耗の原因となる。しかし、科学者や産業界は、精密なエッチング、分析技術、光学コーティング、半導体デバイス、ナノテクノロジー製品の製造における薄膜層の成膜など、さまざまな目的でスパッタリングを利用している。

コーティングを目的としたスパッタリングの場合、コーティングされる基材は不活性ガス(通常はアルゴン)とともに真空チャンバー内に置かれる。負電荷がターゲットとなるソース材料に印加され、プラズマ環境が形成される。負に帯電したターゲット材料から自由電子が流れ出し、アルゴンガス原子と衝突する。この衝突により、アルゴン原子は正電荷を帯びたイオンとなり、負電荷を帯びたターゲット材料に引き寄せられる。これらのイオンの高速度により、原子サイズの粒子がターゲット材料から「スパッタリング」される。その後、これらの粒子は真空蒸着室を通過し、基板表面に薄膜として蒸着される。

要約すると、エンジン加速時のスパッタリングは、一般的に燃料システムの問題によって引き起こされます。一方、物理学の文脈におけるスパッタリングとは、固体材料の表面から微細な粒子が飛び出すプロセスを意味します。

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