蛍光X線分析（XRF）は、試料中の元素を検出するための強力なツールです。しかし、XRFには注意すべきいくつかの限界があります。
蛍光X線分析の4つの主な制限事項
1.軽元素の検出
XRFは、原子番号の小さい元素の検出にはあまり効果的ではありません。これは、軽い元素が放出する特性X線のエネルギーが低いためです。そのため、試料や試料と検出器の間の空気中での吸収や散乱により、検出が難しくなります。通常、原子番号が11（ナトリウム）未満の元素は、従来の蛍光X線分析法では検出が困難です。例えば、リチウム、ベリリウム、ホウ素などの元素は、標準的な蛍光X線分析装置では検出できないことがよくあります。
2.元素の存在深度
XRFは、試料の表面、通常1～1000 µmの深さに存在する元素に感度があります。元素がこの範囲よりも深い場所に存在する場合、蛍光X線による検出はますます困難になります。これは、元素の分布が不均一で、元素濃度が深さによって大きく異なる試料に特に関連します。
3.低濃度の元素
元素の濃度が非常に低い場合、蛍光X線分析では元素を検出できないことがあります。XRFの検出限界は、装置や特定の元素によって異なりますが、一般的に100万分の1から10億分の1の範囲です。元素の濃度が装置の検出限界値を下回ると、蛍光X線分析では検出されません。
4.限界のまとめ
要約すると、蛍光X線分析では、軽元素、サンプル表面下のかなりの深さに存在する元素、および非常に低濃度で存在する元素を効果的に検出することはできません。XRF分析用の試料を準備し、XRF測定から得られた結果を解釈する際には、これらの制限を考慮する必要があります。
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