薄膜はナノテクノロジーの要であり、様々なデバイスやシステムの機能性や性能を大幅に向上させる。
ナノテクノロジーにおける薄膜の9つの主要用途
1.集積回路チップ
薄膜は集積回路の構築に不可欠である。
絶縁体、導体、半導体の役割を果たす。
これらの薄膜は、チップ上の電子部品の小型化と高密度化に不可欠である。
これにより、処理速度と効率が向上する。
2.微小電気機械システム（MEMS）
MEMSでは、センサーやアクチュエーターのような極小の機械・電気機械部品を作るために薄膜が使用される。
これらの薄膜は、物理的刺激を感知し、それに反応するデバイスの製造を可能にする。
これは自動車、航空宇宙、生物医学分野での応用に貢献している。
3.微細加工メカニズム
薄膜は、マイクロスケールのメカニズムの製造に不可欠である。
薄膜は、特定の機械的特性を持つ構造を作り出すために使用される。
これには、マイクロスケールのギア、ポンプ、バルブの開発が含まれる。
これらはマイクロ流体システムやラボオンチップ・デバイスに不可欠である。
4.発光ダイオード（LED）
LEDの製造には薄膜が使用される。
薄膜は光の効率的な放出と制御に役立つ。
これらのフィルムは、特定の波長の光を放出するように設計することができる。
そのため、ディスプレイ、照明、光通信などの用途に欠かせない。
5.光学コーティングと太陽電池薄膜は、光の反射、透過、吸収を高めるために光学コーティングに使われる。太陽電池では、太陽エネルギーの変換効率を向上させるために使用される。これは、太陽光の吸収を最適化し、反射損失を減らすことによって行われる。
