蛍光X線(XRF)検査は、定性と定量の両方の性質を持っています。定性的には、試料にX線を照射したときに放出される特徴的なX線を検出することにより、試料に含まれる元素を特定します。定量的には、放出されるX線の強度が試料中の元素の濃度に比例するという原理に基づいて、これらのX線の強度を測定して各元素の濃度を決定します。
主なポイントの説明

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蛍光X線分析における定性分析
- 蛍光X線分析では、X線源によって励起されたときに各元素から放出される固有の蛍光X線を検出することで、サンプルに含まれる元素を特定できます。
- 各元素には固有のエネルギー準位があるため、放出されるX線には元素を識別するために使用できる特定のエネルギーがあります。
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蛍光X線分析における定量分析:
- ここで、Iiは蛍光X線の強度、Isは元素が純粋(100%)のときの強度、Wiは試料中の元素の重量分率です。
- この関係により、試料中の元素濃度を決定することができ、XRFは定量的な手法となります。
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定量分析に影響する要因:
- マトリックス効果: 試料の組成は放出されるX線の強度に影響を与えるため、正確な定量分析には補正が必要です。
- 装置の校正: 正確な定量測定には、組成が既知の標準物質による校正が不可欠です。
- 試料の調製: 試料の調製方法(例:粉砕、ペレットへの押し込み)は結果に影響を与える可能性があり、一貫した調製方法の必要性が強調される。
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蛍光X線分析の応用
- 材料科学: 金属、合金、その他の材料の組成分析に使用される。
- 地質学: 岩石や鉱物に含まれる元素の同定と定量に役立つ。
- 環境科学: 土壌や水中の汚染物質の検出と測定に有用。
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蛍光X線分析の利点
- 非破壊: XRFはサンプルを破壊しないため、さらなる分析やサンプルの使用が可能です。
- 迅速な分析: 迅速な結果が得られるため、品質管理やプロセスモニタリングに有効。
- 汎用性: さまざまな種類のサンプル中のナトリウム(Na)からウラン(U)まで、幅広い元素を分析できます。
要約すると、蛍光X線検査は、試料中の元素の定性同定と定量測定の両方を提供する強力な分析技術です。その非破壊的な性質は、幅広い元素とサンプルタイプを分析する能力と相まって、さまざまな科学的および工業的アプリケーションにおいて貴重なツールとなっています。
総括表
側面 | 定性分析 | 定量分析 |
---|---|---|
目的 | 固有の蛍光X線を検出することにより、試料中の元素を同定。 | X線強度から元素濃度を測定 |
主な原理 | 各元素は特定のエネルギーのX線を放出する。 | X線強度は元素濃度に比例する(Ii = IsWi)。 |
用途 | 材料科学、地質学、環境科学 | 材料科学、地質学、環境科学 |
利点 | 非破壊、迅速、多用途。 | 非破壊、迅速、多用途。 |
影響要因 | 該当なし | マトリックス効果、装置校正、サンプル前処理。 |
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