蛍光X線分析（XRF）は、物質の元素組成を測定するための非破壊分析技術です。
試料に高エネルギーのX線を照射することで、試料中の原子が励起され、二次的な蛍光X線を放出します。
各元素は固有の蛍光X線スペクトルを放出し、これを分析することで、試料に含まれる元素を同定・定量することができます。
蛍光X線検査の方法5つの主要ステップ
1.サンプルの準備
プロセスは試料の準備から始まります。
材料の性質に応じて、試料はバルク材料の表層から抽出するか、断片として採取して微粉末に均質化します。
より複雑な試料の場合、均質化のためにジョークラッシャーを使用することもある。
試料は通常、油圧プレスを使用してペレット状に成形され、分析中の試料の完全性を維持するのに役立ちます。
場合によっては、試料調製工程を迅速化するために、自動計量・分注装置が採用されることもある。
2.蛍光X線分析装置による分析
調製された試料は、X線源と検出器からなる蛍光X線分析装置を用いて分析されます。
X線源は高エネルギーのX線を発生し、試料に照射します。
このX線が試料と相互作用すると、原子が蛍光X線を放出する。
検出器はこれらの蛍光X線を捕らえ、試料中の異なる元素に対応するピークを表示するスペクトルを生成します。
これらのピークの高さが各元素の濃度を示します。
3.結果の解釈
XRFスペクトロメーターによって生成されたスペクトルを分析し、存在する元素とそれぞれの濃度を特定します。
蛍光X線分析で検出可能な元素の範囲は、一般的にナトリウム（Na）からウラン（U）までで、検出レベルは特定の装置と試料中の電子軌道の利用可能性によって異なります。
4.試料前処理の重要性
正確で信頼性の高い結果を得るためには、質の高い試料前処理が不可欠である。
近年、蛍光X線分析装置の進歩により、装置自体の誤差が減少したため、試料前処理が蛍光X線分析における最も重要な誤差要因となっています。
したがって、試料調製に正確で標準化された技術を使用することは、一貫した分析結果を得るために不可欠です。
5.アプリケーション
XRF検査は、セメント、鉱業、工業用鉱物などのさまざまな産業で、原材料や最終製品の品質管理に広く使用されています。
その非破壊的な性質と、迅速で信頼性の高い元素分析を提供する能力により、これらの分野で貴重なツールとなっています。
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