蛍光X線分析（XRF）は、物質の元素組成を測定するための非破壊分析技術です。試料に高エネルギーのX線を照射することで、試料中の原子が励起され、二次的な蛍光X線を放出します。各元素は固有の蛍光X線スペクトルを放出し、これを分析することで試料に含まれる元素を同定・定量することができる。
試料の前処理
プロセスは試料の準備から始まります。材料の性質により、サンプルはバルク材料の表層から抽出されるか、断片として採取され、微粉末に均質化されます。より複雑な試料の場合、均質化のためにジョークラッシャーを使用することもある。試料は通常、油圧プレスを使用してペレット状に成形され、分析中の試料の完全性を維持するのに役立ちます。場合によっては、試料調製プロセスをスピードアップするために、自動計量・投入装置を採用することもあります。蛍光X線分析装置による分析：
調製された試料は、X線源と検出器から成る蛍光X線分析装置を使用して分析されます。X線源は高エネルギーのX線を発生し、試料に照射します。このX線が試料と相互作用すると、原子が蛍光X線を放出する。検出器はこれらの蛍光X線を捕らえ、試料中の異なる元素に対応するピークを表示するスペクトルを生成します。これらのピークの高さが各元素の濃度を示す。
結果の解釈
XRFスペクトロメーターによって生成されたスペクトルを分析し、存在する元素とそれぞれの濃度を特定します。XRFで検出可能な元素の範囲は、一般的にナトリウム（Na）からウラン（U）までで、検出レベルは特定の装置とサンプル内の電子軌道の利用可能性によって異なります。試料前処理の重要性
