知識 薄膜の化学蒸着法とは?知っておきたい5つのポイント
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更新しました 1 month ago

薄膜の化学蒸着法とは?知っておきたい5つのポイント

薄膜形成の化学的方法は化学気相成長法(CVD)と呼ばれる。

CVDでは、基板を真空チャンバーに入れる。

つの化学前駆体が加熱され、気化する。

気化したこれらの前駆物質が基板表面で出会うと、化学反応が起こる。

この反応により薄膜コーティングが形成される。

CVDは、特定の材料特性を持つ高性能薄膜を作成するために広く使用されている技術である。

薄膜の組成や膜厚を正確に制御する必要がある半導体製造やその他の産業で一般的に使用されています。

化学的薄膜形成法とは?知っておくべき5つのポイント

薄膜の化学蒸着法とは?知っておきたい5つのポイント

1.化学気相成長法(CVD)

CVDは薄膜蒸着に用いられる化学的方法である。

2.基板の設置

成膜プロセス中、基板は真空チャンバー内に置かれる。

3.加熱と気化

2種類の化学前駆体を加熱し、気化させる。

4.化学反応

気化した前駆体が基板表面で出会うと、化学反応が起こる。

5.薄膜の形成

この反応により、薄膜コーティングが形成される。

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