知識 化学的薄膜蒸着法とは何ですか?
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化学的薄膜蒸着法とは何ですか?

薄膜形成の化学的方法は化学気相成長法(CVD)と呼ばれます。CVDでは、基板を真空チャンバーに入れ、2つの化学前駆体を加熱して気化させます。気化した前駆物質が基板表面で出会うと化学反応が起こり、薄膜コーティングが形成される。CVDは、特定の材料特性を持つ高性能の薄膜を作るために広く使われている技術である。CVDは、膜の組成や膜厚を正確に制御する必要がある半導体製造やその他の産業で一般的に使用されています。

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