物理学における薄膜とは、長さや幅よりも著しく薄い物質の層を指し、その厚さは数分の1ナノメートルから数マイクロメートルに及ぶ。これらの薄膜は、その表面形状に起因するユニークな特性や挙動を示し、様々な科学技術用途に使用されている。
定義と厚さ:
薄膜とは、厚さ(一般に数ナノメートルから数マイクロメートル)が他の寸法よりはるかに小さい材料の層と定義される。この薄さは相対的なものであり、厚さが測定されるシステムの固有の長さスケールと同じか、それ以下のオーダーで測定可能であれば、「薄い」とみなされる。この定義は、薄膜の特性がバルク基板とどのように大きく異なるかを理解するのに役立つ。準備と蒸着:
薄膜は、多くの場合、物理的気相成長法(PVD)や化学的気相成長法(CVD)などの技術を用いて、制御された環境で基板上に材料を蒸着させることによって作製される。PVDでは、材料は高エネルギーの環境に置かれ、粒子が表面から抜け出て、より低温の表面上に固体層を形成する。このプロセスは通常、粒子の移動を容易にするために真空蒸着室で行われる。物理的蒸着には方向性があるため、コンフォーマルでない膜ができることが多い。
例と応用:
薄膜の例としては、シャボン玉や、装飾や保護目的で使用される金属膜などがある。技術分野では、薄膜は、耐久性の向上、電気伝導性の変化、光学特性の向上など、被覆する物体の特性を変化させることができるため、極めて重要である。様々な用途で高純度の薄膜を製造するために、産業界は精密な原子層蒸着に依存している。
特徴