熱蒸着法は、多くの利点があるため、薄膜を蒸着するための一般的な方法です。
熱蒸着法の10の主な利点
1.様々な材料との互換性
熱蒸着法は、アルミニウム、クロム、金、インジウムなどの金属と非金属の両方を蒸着することができる。
2.低融点材料への適性
水銀やガリウムを含む合金など、融点の低い材料に最適です。
3.均一性
プラネタリー基板治具とユニフォミティマスクを使用し、熱蒸着を行うため、均一性に優れています。
4.高い蒸着速度
熱蒸着は、通常1秒間に50オングストローム以下の高い蒸着速度を提供します。
5.優れた指向性
蒸気雲は基板に向けられ、より均一で制御された成膜を保証します。
6.費用対効果
他の物理蒸着(PVD)法と比較して、熱蒸着は比較的低コストです。
7.単純性
PVD法の中で最も複雑な工程が少ないため、セットアップ、操作、メンテナンスが容易です。
8.イオンアシストソースとの互換性
熱蒸着はイオンアシストソースと互換性があり、密度を高め、不純物を減らすことで膜質を向上させます。
9.汎用性
多用途で効率的なため、幅広い産業用途に適しています。
10.効率性
この方法は生産時間を大幅に短縮するため、スループットが重要な産業用途に最適です。
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