表面に薄膜を蒸着させる場合、2つの方法が目立つ:PVD(物理蒸着)とCVD(化学蒸着)である。
どちらにも独自の特徴と利点がありますが、いくつかの重要な点ではPVDの方が優れていると考えられています。
なぜPVDの方が優れているのかを理解するために、その違いを説明しましょう。
PVDはCVDより優れているのか?5つの主な違い
1.温度制御と後処理
PVDコーティングは、CVDに比べてはるかに低い温度で行われます。
つまり、PVDコーティングされた部品は、コーティング後に追加の熱処理を必要としません。
一方、CVDプロセスは高温で行われることが多いため、基材の特性が変化し、追加の熱処理が必要になることがあります。
2.表面仕上げ
PVDは、部品の元の表面仕上げを再現し、研磨または平滑な外観を維持する。
CVDでは、コーティング後に研磨しない限り、一般的につや消し仕上げになります。
このため、元の表面仕上げの美的または機能的特性が重要な用途には、PVDの方が適しています。
3.エネルギー効率とコスト
CVDは、Al2O3のような低コストの材料を使用するためコストが安くなりますが、PVDに比べるとエネルギー効率は劣ります。
CVDプロセスは、より多くのエネルギーを消費し、有毒ガスを使用するため、より複雑なガス管理が必要となる。
必要なエネルギーが少なく、プロセスが単純なPVDは、特にエネルギー節約とコーティング後の熱処理が不要であることを考慮すると、長期的には費用対効果が高くなる可能性がある。
4.複雑な形状のコーティング
CVDは、その高い投射力と非直視型成膜能力により、複雑な形状や深い凹部のコーティングに有利です。
このため、CVDは蒸着源に直接露出していない領域へのコーティングが可能です。これは、通常、視線蒸着が必要なPVDプロセスでは制限となる場合があります。
5.材料の多様性
CVDはAl2O3のような低コストの材料を使用することができますが、PVDはコーティング材料の範囲を拡大し、長年にわたって性能の向上を示してきました。
この拡大により、PVDはより多くの面でCVDを凌駕するようになり、世界の工具市場におけるシェア拡大につながった。
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