カーボンコーティングは、SEM試料、特に非導電性材料に不可欠です。
表面の帯電を防ぎ、二次電子の放出を促進し、ビームに敏感な試料を保護します。
このコーティングプロセスでは、炭素の薄層を試料に蒸着します。
これにより、電子ビーム下での試料の導電性と熱安定性が向上します。
5つの主な利点
1.表面帯電の低減
非導電性材料は、SEMで電子ビームにさらされると電荷を蓄積します。
その結果、画像に歪みが生じたり、試料が損傷したりする可能性があります。
カーボンコーティングは、この電荷を放散する導電層を提供します。
これにより、安定したイメージング条件を確保し、試料の劣化を防ぎます。
2.二次電子放出量の向上
カーボンコーティングは、二次電子の収率を向上させます。
これはSEMの高分解能イメージングに不可欠です。
S/N比が向上することで、より鮮明で詳細な画像が得られます。
これは、試料表面の特徴を正確に分析・解釈するために不可欠です。
3.ビームに敏感な試料の保護
電子ビーム下で劣化する可能性のある高感度材料では、カーボンコーティングが保護バリアとして機能します。
これは、分析中の生物学的試料やその他のデリケートな試料の完全性を維持する上で特に重要です。
4.X線マイクロ分析およびEBSDへの応用
カーボンコーティングは、X線マイクロアナリシスや電子後方散乱回折（EBSD）のような技術に最適です。
試料の元素分析を妨げることはありません。
金属コーティングとは異なり、カーボンは試料の組成や構造の分析を複雑にする可能性のある追加元素を導入しません。
5.コーティング技術の選択
カーボンファイバーコーティングとカーボンロッドコーティングのどちらを選択するかは、SEMアプリケーションの特定の要件によって決まります。
カーボンファイバーコーティングは、厚みを制御できるため、TEMや分析SEMの用途に適していますが、破片が多く含まれる可能性があります。
対照的に、カーボンロッドコーティングは、高解像度のTEMやクリティカルなSEMアプリケーションに理想的な、よりクリーンで高品質なコーティングを提供します。
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