拡散ポンプの開始圧力は通常大気圧で、これは約760Torr（101kPa）である。これは、高真空レベルを達成するためにチャンバー内の圧力を下げるためにポンプが作動し始める初期圧力です。
説明
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初期圧力とパンプダウンのシーケンス： 典型的なセットアップでは、高真空を達成するプロセスは大気圧から始まります。最初に容積式ポンプを使用して、圧力を大気圧レベル（760Torr、101kPa）から約25Torr（3kPa）まで下げます。このステップは、チャンバーからガスの大部分を除去するため非常に重要である。
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拡散ポンプの使用 最初の減圧の後、拡散ポンプのようなより特殊なポンプが使用される。拡散ポンプは、通常10-2から10-6Torrの範囲の非常に低い圧力を達成するように設計されている。他のポンプが管理可能なレベルまで圧力を下げた後、拡散ポンプが引き継ぎ、真空状態をさらに改善する場合に特に効果的です。
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動作要件： 拡散ポンプは単独では作動しません。拡散ポンプの入口でより低い圧力を維持するために、バッキングポンプ（多くの場合、機械式ポンプ）が必要です。このセットアップにより、拡散ポンプが最初の高圧に圧倒されることなく、目的の高真空レベルまで効果的に減圧できるようになります。
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システム構成： 真空システムの特定の要件に応じて、さまざまな構成のポンプを使用できます。例えば、2段システムは大気圧からスタートし、ポンプの組み合わせで4.5×10-2Torrの圧力に達するかもしれません。一方、拡散ポンプを備えた3段システムは、8.0×10-6Torrのようなさらに低い圧力を目指すかもしれません。
要約すると、真空システムにおける拡散ポンプの開始圧力は大気圧であり、そこからシステムを徐々に排気して、目的の高真空条件を達成する。使用するポンプの順序とタイプは、特定の真空要件と取り扱う材料の性質によって異なります。
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