蛍光X線分析（XRF）における試料前処理は、元の試料を正確で信頼性の高い分析に適した形に変換するために不可欠です。
このプロセスでは、試料の成分分布が均一であること、表面が平坦であること、検査対象の材料を代表するものであることを確認します。
適切な前処理は、分析結果の精度と信頼性に直接影響するため、非常に重要です。
6つのポイント
1.成分の均一な分布
正確な測定を行うには、サンプルの組成が均一でなければなりません。
これは、放出されるX線の強度が試料中の元素濃度に比例する蛍光X線分析において特に重要です。
不均一な試料は、不正確な測定値につながる可能性があります。
2.平坦な表面
平らな表面は、一貫性のある再現性のある測定に必要です。
これにより、X線が試料と均一に相互作用し、不均一な照射や散乱によるエラーのリスクを低減します。
3.代表的で適切な仕様
試料は検査対象の材料を代表するものでなければなりません。
つまり、試料調製工程で材料固有の特性が大きく変化してはならない。
さらに、試料は、サイズや形状など、蛍光X線分析装置が要求する仕様を満たしていなければなりません。
4.試料タイプによって異なる前処理技術
試料が固体、粉末、液体のいずれであるかによって、異なる前処理方法が使用されます。
粉末の場合、粉末プレスフレーク前処理、粉末溶融フレーク前処理、ブロック試料前処理などの方法が一般的です。
それぞれの方法は、試料の特性と分析要件に基づいて選択される。
5.他の分析技術における試料前処理の重要性
蛍光X線分析における試料前処理の原則は、走査型電子顕微鏡（SEM）のような他の技術にも当てはまります。
SEMの試料前処理では、試料がチャンバーに収まるようにし、電荷の蓄積を防ぎます。
6.分析感度と精度への影響
適切な試料前処理は分析の感度を高め、微量元素の検出を可能にします。
また、不均一性を低減し、ばらつきを最小限に抑え、不純物からの干渉を排除することで、分析結果の正確性と信頼性を確保することができます。
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