知識 厚膜と薄膜の違いとは?4つのポイントを解説
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 1 month ago

厚膜と薄膜の違いとは?4つのポイントを解説

厚膜と薄膜の違いを理解することは、材料科学の様々な応用において極めて重要である。

主な違いはその厚さにあり、この厚さが特性や挙動にどのように影響するかにある。

4つのポイントを解説:厚膜と薄膜の違いとは?

厚膜と薄膜の違いとは?4つのポイントを解説

1.厚さと特性への影響

薄膜の特徴は、一般的に厚みが小さいことです。

この厚さは、システムの固有長スケールと同等か、それ以下であることが多い。

表面積対体積比が大きいため、薄膜はバルクとは大きく異なる特性を示す。

対照的に、厚膜は機能的な厚さによって定義され、厚さによって材料がよりバルク材料に近い振る舞いをするようになる。

2.薄膜の定義

薄膜は一般的に、その厚さが系の固有長さスケールと同じオーダーかそれ以下であれば「薄い」とみなされる。

伝統的には、薄膜はその厚さ(dz)が5μm(d0)以下の場合に定義される。

しかし、重要なのは絶対的な厚さではなく、この厚さが材料の特性に関連するスケールとどのように比較されるかという点である。

薄膜の特性は、その小さな厚みと高い表面積対体積比により、バルク材料の特性とは大きく異なる。

このユニークな構造が物理的・化学的特性に影響し、これらの特性が有利に働く特定の用途に適している。

例えば、TiO2、SiO2、Ta2O5のような厚さ100nm前後の金属酸化物は、バルクとは異なる特性を示すため、薄膜とみなされる。

3.厚膜の定義

厚膜は、その機能要件、または材料がバルク材料のように振る舞うような厚さによって定義される。

つまり、通常薄膜に付随する独特の特性を否定するのに十分な厚みがあることを意味する。

薄膜とは異なり、厚膜はバルクと同レベルの特性変化を示さない。

厚膜はバルク材料に典型的な特性をより多く維持する。

前述の金属酸化物と同じ厚さ(100 nm)のアルミニウム膜は、バルクのアルミニウムのように振る舞い、薄膜の特徴的な特性がないため、薄膜とはみなされない。

4.測定と分類

薄膜か厚膜かの分類は、その厚さだけでなく、特性や、その特性が材料の内部長さスケールにどのように関係しているかによっても決まる。

走査型電子顕微鏡(SEM)などの技術は、屈折率(RI)や表面粗さなどの要素を考慮しながら、薄膜を測定・観察するために使用されます。

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