知識 SiC素子とは?5つのポイントを解説
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

SiC素子とは?5つのポイントを解説

炭化ケイ素(SiC)は、ケイ素と炭素からなる多目的セラミック材料である。

卓越した硬度と耐高温性で知られています。

SiCはそのユニークな特性により、様々な産業で広く使用されています。

これらの特性には、高い導電性、耐熱衝撃性、優れた化学的不活性などが含まれる。

SiCは、制御された高温反応によって合成的に製造される。

主にαとβの異なる結晶形がある。

その用途は、研磨材や耐火物からエレクトロニクスの先端半導体材料まで多岐にわたる。

5つのポイントを解説:炭化ケイ素(SiC)

SiC素子とは?5つのポイントを解説

1.SiCの組成と合成

化学組成: SiCはケイ素と炭素の化合物である。

合成方法: 主にアチソン法、二酸化ケイ素低温炭素熱還元法、ケイ素-炭素直接反応法などの高温プロセスで合成される。

これらの方法では、ケイ素と炭素の混合物を2000℃を超える温度に加熱してSiCを形成する。

2.物理的・機械的特性

硬度: SiCはダイヤモンドに近い硬度を持ち、研磨材として優れている。

熱的性質 高い熱伝導率(120-270W/mK)と低い熱膨張率(4.0x10-6/℃)を示し、耐熱衝撃性に寄与している。

電気伝導性: SiCは導電体にすることができ、抵抗加熱や電子部品に適している。

3.結晶構造

α-SiCとβ-SiC: SiCには、主にαとβの2つの結晶形がある。

α-SiCは複数の多型(例えば、4H、15R、6H)を持ち、β-SiCは立方晶系である。

これらの形態間の変換は温度に依存し、β-SiCは高温でα-SiCに変換する。

4.工業用途

研磨剤と耐火物: 歴史的にサンドペーパーや切削工具に使用されてきたSiCは、その硬度と耐高温性から、研削砥石や耐火物にも使用されている。

発熱体: SiCは、その高い導電性と極端な温度に耐える能力を活かして、工業炉の発熱体に使用されています。

半導体産業: SiCは、シリコンウエハー製造用の研削ディスクや治具を含む半導体用途や、従来のシリコンやガリウムヒ素よりも優れた特性を持つ第3世代の半導体材料として採用されている。

5.耐熱衝撃性

定義: 急激な温度変化にも損傷を受けずに耐える材料の能力。

SiCにおける重要性: SiCの高い熱伝導率と低い熱膨張率により、熱衝撃に非常に強く、高温環境での用途には重要な特性である。

電気伝導性: SiCの電気を通す能力は、抵抗発熱体、フレームイグナイター、電子部品に利用されており、高温安定性が有利である。

これらの重要なポイントを理解することで、実験装置の購入者は、そのユニークな特性と幅広い産業用途を考慮し、様々な用途におけるSiC素子の使用について十分な情報に基づいた決定を下すことができます。

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