知識 スパッタリングターゲットの役割とは?4つのポイントを解説
著者のアバター

技術チーム · Kintek Solution

更新しました 1 month ago

スパッタリングターゲットの役割とは?4つのポイントを解説

スパッタリング・ターゲットは、薄膜を形成する方法であるスパッタ蒸着のプロセスで使用される材料である。

最初は固体状態のターゲットが、気体イオンによって小さな粒子に砕かれ、スプレーとなって基板をコーティングする。

この技術は、半導体やコンピューター・チップの製造に欠かせない。

ターゲットは通常、金属元素または合金であるが、セラミック・ターゲットも工具の硬化皮膜形成に使用される。

スパッタリングターゲットは何をするのか?4つのポイントを解説

スパッタリングターゲットの役割とは?4つのポイントを解説

1.スパッタリングターゲットの機能

スパッタリングターゲットは、薄膜成膜のソース材料としての役割を果たす。

ターゲットは通常、金属製またはセラミック製の物体で、スパッタリング装置の特定の要件に従って形状やサイズが決められます。

ターゲットの材質は、導電性や硬度など、薄膜に求められる特性に基づいて選択される。

2.スパッタリングのプロセス

プロセスは、チャンバーから空気を排気して真空環境を作ることから始まる。

その後、アルゴンなどの不活性ガスを導入し、ガス圧を低く保つ。

チャンバー内では、磁場を発生させてスパッタリング・プロセスを強化するために、磁石アレイを使用することもある。

このセットアップは、正イオンがターゲットに衝突した際に、ターゲットから原子を効率的に叩き落とすのに役立つ。

3.薄膜の成膜

スパッタされた原子はチャンバー内を移動し、基板上に堆積する。

低い圧力とスパッタされた材料の性質により、蒸着が均一に行われ、一定の厚さの薄膜が得られます。

この均一性は、半導体や光学コーティングなどの用途に不可欠です。

4.用途と歴史

スパッタリングターゲットは1852年に初めて発見され、1920年に薄膜蒸着技術として開発された。

その長い歴史にもかかわらず、このプロセスは現代の技術や製造に欠かせないものとなっている。

スパッタリング・ターゲットは、その精度と幅広い材料を均一に成膜する能力から、エレクトロニクス、光学、工具製造など様々な分野で使用されている。

要約すると、スパッタリングターゲットは、数多くの技術応用に不可欠な薄膜の成膜において極めて重要な役割を果たしている。

このプロセスは制御された精密なものであり、先端技術デバイスに必要な特定の特性を持つ薄膜の作成を可能にします。

専門家にご相談ください。

KINTEK SOLUTIONのプレミアム・スパッタリング・ターゲットを使用して、薄膜製造のゲームを向上させましょう。

最先端の半導体、精密光学コーティング、堅牢なツーリングなど、当社の厳選された金属材料とセラミック材料が最高品質の薄膜を実現します。

KINTEK SOLUTIONのスパッタリングターゲットがあなたのラボにもたらす精度と均一性を体験してください!

関連製品

タングステンチタン合金(WTi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

タングステンチタン合金(WTi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

手頃な価格の実験室用タングステン チタン合金 (WTi) 材料をご覧ください。当社の専門知識により、さまざまな純度、形状、サイズのカスタム材料を製造することができます。幅広いスパッタリング ターゲット、パウダーなどからお選びいただけます。

銅ジルコニウム合金(CuZr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

銅ジルコニウム合金(CuZr)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

お客様の独自の要件に合わせた、手頃な価格の銅ジルコニウム合金材料のラインナップをご覧ください。スパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどの当社のセレクションをご覧ください。

硫化亜鉛(ZnS)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化亜鉛(ZnS)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズに合わせた硫化亜鉛 (ZnS) 材料を手頃な価格で入手できます。当社は、さまざまな純度、形状、サイズの ZnS 材料を製造およびカスタマイズします。スパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などを幅広い選択肢からお選びいただけます。

高純度プラチナ(Pt)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度プラチナ(Pt)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度のプラチナ(Pt)スパッタリングターゲット、粉末、ワイヤー、ブロック、顆粒を手頃な価格で提供します。さまざまな用途に合わせてさまざまなサイズと形状を用意しており、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズできます。

高純度コバルト(Co)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度コバルト(Co)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

お客様独自のニーズに合わせた、実験室用のコバルト (Co) 材料を手頃な価格で入手できます。当社の製品には、スパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどが含まれます。カスタマイズされたソリューションについては、今すぐお問い合わせください。

高純度ゲルマニウム(Ge)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度ゲルマニウム(Ge)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質の金素材を手頃な価格で入手できます。当社のカスタムメイドの金素材は、お客様の独自の要件に合わせてさまざまな形状、サイズ、純度で提供されます。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、ホイル、パウダーなどの製品ラインナップをご覧ください。

高純度鉛(Pb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度鉛(Pb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質の鉛 (Pb) 材料をお探しですか?スパッタリング ターゲット、コーティング材料などを含む、カスタマイズ可能なオプションの専門的なセレクション以外に探す必要はありません。競争力のある価格については今すぐお問い合わせください。

テルル化コバルト(CoTe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

テルル化コバルト(CoTe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質のテルル化コバルト材料を手頃な価格で入手してください。当社は、スパッタリングターゲット、コーティング、粉末などを含め、カスタマイズされた形状、サイズ、純度を提供します。

硫化スズ(SnS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化スズ(SnS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室向けの高品質な硫化スズ (SnS2) 材料を手頃な価格で見つけてください。当社の専門家は、お客様の特定のニーズに合わせて材料を製造およびカスタマイズします。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

高純度アンチモン(Sb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度アンチモン(Sb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

特定のニーズに合わせてカスタマイズされた高品質のアンチモン (Sb) 材料を入手してください。豊富な形状とサイズをリーズナブルな価格でご提供いたします。当社のスパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどをご覧ください。

高純度セレン(Se)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度セレン(Se)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用に手頃な価格のセレン (Se) 材料をお探しですか?当社は、お客様の独自の要件に合わせて、さまざまな純度、形状、サイズの材料の製造と調整を専門としています。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

高純度錫(Sn)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度錫(Sn)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用の高品質の錫 (Sn) 材料をお探しですか?当社の専門家は、カスタマイズ可能な錫 (Sn) 材料を手頃な価格で提供します。今すぐさまざまな仕様とサイズをチェックしてください。

高純度タンタル(Ta)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度タンタル(Ta)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

ラボ用の高品質タンタル (Ta) 材料を手頃な価格で見つけてください。さまざまな形状、サイズ、純度でお客様の特定の要件に合わせて調整します。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

高純度イリジウム(Ir)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度イリジウム(Ir)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用の高品質イリジウム (Ir) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門的に製造および調整された材料は、お客様の固有のニーズに合わせてさまざまな純度、形状、サイズで提供されます。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどの製品ラインナップをご覧ください。今すぐ見積もりを入手してください。


メッセージを残す