DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングは、高い耐久性と硬度を持つコーティングの一種です。その高い硬度と耐薬品性から、様々な素材の保護膜として使用されることが多い。DLC膜は、高周波プラズマ支援化学気相成長法（RF PECVD法）を用いて成膜され、幅広い光学的・電気的特性を持つ炭素膜を成膜することができる。
DLCコーティングの特徴は、硬度が1500から3000HVと高いことである。天然ダイヤモンドに近い特性を示し、その硬度は天然ダイヤモンドに近い。この高い硬度は、パワートレイン、ベアリング、カムシャフトなど、自動車や機械産業での用途に適しています。
DLCコーティングは、300℃前後の比較的低い温度でも、適切な接着層を使用して高い接着強度で成膜することができる。このため、鋼鉄や硬質金属などのさまざまな基材に適合する。さらに、DLCコーティングは、軸受鋼に対して0.1という低い摩擦係数（COF）を持つため、摩擦の低減が望まれる用途に適している。
プラズマ支援化学気相成長法（PACVD）は、DLCコーティングの成膜に一般的に使用されるプロセスです。このプロセスは、プラズマの励起とイオン化によって化学反応を活性化させるもので、パルスグロー放電や高周波放電を用いることで、約200℃という低温での成膜を可能にする。PACVDは、摩擦係数が低く、表面硬度が拡張可能なDLC層の生成を可能にする。
まとめると、DLCコーティングは耐久性が高く硬いコーティングであり、さまざまな産業でさまざまな用途に使用されている。低温での成膜が可能なRF PECVD法やPACVD法を用いて成膜される。DLCコーティングは、高硬度、低摩擦係数、さまざまな基材への良好な密着性を示します。
