スパッタターゲットのクリーニングは、その最適な性能と寿命を確保するために不可欠です。
ここでは、スパッタターゲットを効果的にクリーニングするためのステップバイステップガイドをご紹介します。
スパッタターゲットのクリーニング方法は？(4つの簡単なステップと4つの重要な注意事項)
1.アセトンを染み込ませたリントフリーの柔らかい布でクリーニングする。
これにより、ターゲットの表面に存在する可能性のあるほこりや汚れを取り除くことができます。
2.アルコールで洗浄する。
アルコールに浸したきれいな布で、ターゲットをさらにきれいにし、残っている汚れを取り除く。
3.脱イオン水で洗浄する。
ターゲットを脱イオン水ですすぎ、アセトンとアルコールの痕跡がすべて取り除かれたことを確認する。
4.ターゲットを乾燥させる。
脱イオン水で洗浄した後、ターゲットをオーブンに入れ、100℃の温度で30分間乾燥させる。こうすることで、ターゲットが完全に乾いてからさらに使用することができる。
洗浄工程に加えて、スパッタコーターターゲット使用時の注意事項がある。
1.スパッタの準備。
真空チャンバーとスパッタリングシステムを清潔に保つことが重要である。残留物や汚染物質があると、成膜不良の可能性が高まります。システムの短絡、ターゲットのアーク放電、粗面形成を避けるため、スパッタリングチャンバー、スパッタガン、スパッタリングターゲットを清掃する。
2.ターゲットの設置。
ターゲットの設置中、ターゲットとスパッタガンの安定化壁との間の熱的接続が良好であることを確認してください。冷却ステーブやバッキングプレートがゆがんでいると、ターゲットに亀裂や曲がりが生じ、熱伝導率に影響を与え、ターゲットの損傷につながることがあります。
3.ターゲット使用の最適化。
スパッタリングシステムでは、ターゲットは薄膜コーティングのためにスパッタリングされる材料の固まりである。ターゲットの大きさは、他のコンポーネントの意図しないスパッタリングを避けるのに十分な大きさにする。レーストラックと呼ばれる、ターゲット表面のスパッタリング効果が顕著な部分には注意が必要である。
4.シリコンスパッタリングターゲット。
シ リ コ ン ス パ ッ タ リ ン グ タ ー ゲ ッ ト を 使 用 す る 場 合 は 、適 切 な プ ロ セ ス と 方 法 で 製 造 さ れ た タ ー ゲ ッ ト を 選 ぶ こ と が 重 要 で す 。これには、電気めっき、スパッタリング、蒸着などが含まれる。さらに、望ましい表面状態を得るためには、洗浄やエッチングの工程が必要になることもある。
これらのステップに従い、予防措置を講じることで、スパッタリングプロセスでスパッタターゲットを効果的に洗浄し、使用することができる。
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