ダイヤモンド・ライク・コーティング(DLC)を施すには、多段階の工程が必要です。以下はそのステップです:
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プレクリーニング:コーティングする部品を入念に洗浄し、汚染物質や不純物を取り除きます。これにより、コーティングの適切な密着が保証されます。
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プラネタリー治具に部品をセットします。:部品は、1軸、2軸、3軸の回転が可能な遊星治具にセットされます。この回転により、部品の全表面に均一なコーティングが施されます。
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真空下でのポンプダウン:部品とともに治具を真空チャンバーに入れます。その後、チャンバーをポンプダウンして真空環境を作ります。これは、コーティングプロセス中の不要な反応や汚染を防ぐために重要です。
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低温予熱プロセス:部品を特定の温度(通常は低温)に予熱します。これにより、コーティングの密着性が向上し、部品への熱損傷のリスクが軽減されます。
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イオンボンバード:部品をイオンボンバードメントにかける。これは、部品の表面に高エネルギーのイオンを衝突させるもので、表面の洗浄と活性化に役立つ。このステップにより、ダイヤモンドライクコーティングの密着性がさらに高まります。
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下地層蒸着(PVDプロセス):物理蒸着(PVD)プロセスにより、部品表面に薄い下地層を蒸着します。この下地層は、基材とダイヤモンドライクコーティングの間の結合層として機能します。
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アモルファスカーボン層蒸着:DLCプロセスの主要ステップは、アモルファスカーボン層の成膜です。これは通常、化学気相成長法(CVD)を用いて行われる。活性化された炭素原子は再結合し、部品の表面全体に純粋なダイヤモンドライクカーボン膜を形成します。
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冷却:ダイヤモンドライクカーボン層の成膜後、部品は室温まで徐々に冷却されます。これは、コーティングを安定させ、その完全性を確保するのに役立ちます。
ダイヤモンドコーティングを成功させるためには、適切な工具材料を選択することが重要です。超硬合金やセラミック製の切削工具を除くほとんどの工具材料は、コーティング処理中に高温状態が長く続くと損傷する可能性があります。さらに、安定した性能を得るためには、粗面化やコバルト除去など、工具表面の入念な準備が必要です。
ダイヤモンドコーティングされた工具は、様々な用途に使用でき、コーティングプロセスにより、特定の要件に基づく皮膜の最適化が可能です。薄く滑らかな膜や耐摩耗性を備えた厚い膜など、幅広い表面構造を成長させることができるため、DLCプロセスはさまざまな工具のニーズに対応できる汎用性を持っています。
要約すると、ダイヤモンド・ライク・コーティングを施すプロセスには、プレクリーニング、プラネタリー治具への設置、真空下でのポンプダウン、低温予熱、イオンボンバードメント、下地層蒸着、アモルファスカーボン層蒸着、冷却が含まれる。この工程により、工具へのダイヤモンドライクコーティングの密着性と品質が保証されます。
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