MPCVD
915MHz MPCVD ダイヤモンドマシン
商品番号 : MP-CVD-101
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導入
MPCVD はマイクロ波プラズマ化学蒸着の略です。これは、連続マイクロ波源を使用して、反応する化学物質と必要な触媒で構成される高反応性プラズマを生成および維持する化学蒸着プロセスです。このプロセスは、基板表面にダイヤモンドの薄膜を堆積するために使用されます。
MPCVD システムは、堆積プロセスが行われる真空チャンバー、マイクロ波発生器、およびガス供給システムで構成されます。マイクロ波発生器、通常はマグネトロンまたはクライストロンは、2.45 GHz の範囲のマイクロ波を発生し、石英窓を介して真空チャンバーに接続されます。マスフローコントローラー (MFC) を備えたガス供給システムは、真空チャンバーへのガスの流れを制御します。
応用
MPCVD はマイクロ波プラズマ化学蒸着の略です。これは、炭素含有ガスとマイクロ波プラズマを使用して、実験室で高品質のダイヤモンド膜を成長させる方法です。連続マイクロ波源を利用して、反応化学物質と必要な触媒で構成される高反応性プラズマを生成および維持します。これは、ANFF ネットワークでダイヤモンド層を堆積するために一般的に使用されます。メタンと水素は、ダイヤモンドシード基板上で新しいダイヤモンドを成長させるためのガス前駆体として導入されます。さらに、MPCVD で使用される KINTEK 装置は、成長プロセス中に炭素構造にドーパントを導入することができます。これらには、超伝導ダイヤモンドを生成するホウ素などのドーパントや、量子情報システムで使用できる興味深いフォトルミネッセンス特性を生成する窒素空孔が含まれます。
ディテール＆パーツ
技術仕様
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マイクロ波システム（オプションの電源による） |
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真空システムと反応チャンバー |
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サンプルホルダーシステム |
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ガスシステム |
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システム冷却 |
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温度測定方法 |
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SL901A 機器主要部品表
| シリアルナンバー | モジュール名 | 述べる |
|---|---|---|
| 1 | マイクロ波電源 | 標準国内マグネトロン: Yingjie Electric / 個別電源 国内ソリッドステート ソース: Watson (+30,000) 輸入マグネトロン: MKS/ pastoral (+100,000) |
| 2 | 導波管、3ピン、モードコンバータ、上部共振器 | 自作 |
| 3 | 真空反応室（上室、下室、コネクター） | 自作 |
| 4 | 赤外線温度計、光学式変位部品、ブラケット | 赤外線温度計、光学式変位コンポーネント、Fuji Gold Siemens + Schneider ブラケット |
| 5 | 水冷テーブルモーション部品（シリンダ、ワーク等） | |
| 6 | セラミック薄膜真空計、ピラニ真空計 | インフィコン |
| 7 | 真空バルブ部品（超高真空ゲートバルブ、精密空圧バルブ※2、電磁真空充填差動弁） | フジキン＋中科＋ハイマット |
| 8 | 真空ポンプおよび接続管継手、ティー、KF25ベローズ*2、アダプター | ポンプ：フライオーバー 16L |
| 9 | 金属製マイクロ波シールリング*2;金属真空シールリング*1;石英板 | クォーツ：上海飛麗華半導体グレードの高純度クォーツ |
| 10 | 循環水コンポーネント（ジョイント、分流ブロック、流量検出器） | 日本SMC/CKD |
| 11 | 空気圧部品（CKDフィルター、エアタックマルチウェイソレノイドバルブ、配管継手、アダプター） | |
| 12 | ガスコネクター、EPガス管、VCRコネクター、フィルター0.0023μm*1、フィルター10μm*2 | フジキン |
| 13 | 機械ケーシング、ステンレステーブル、ユニバーサルホイール、フット、ブラケット固定ネジなど | カスタム処理 |
| 14 | ガス流量計※6（圧力制御1個含む） | 標準7つ星、オプションフジゴールド(+34,000)/アリカット(42,000) |
| 15 | ガスプレート加工（5ウェイガス、フィルター*5、空圧バルブ*5、手動バルブ*6、パイプライン溶接） | フジゴールド |
| 16 | PLC自動制御 | シーメンス + シュナイダー |
| 17 | モリブデンテーブル | |
利点
- マイクロ波パワーをスムーズかつ連続的に調整し、反応温度を安定して制御することができるため、DC-PJ CVD法などで起こりやすい、アーキングや失火によるシードの基板からの剥離などのトラブルを回避できます。
- MPCVD 法では、反応室の構造を調整し、マイクロ波のパワーと圧力を制御し、大面積の安定した放電プラズマを生成することで、高品質で大型の単結晶ダイヤモンドを製造できます。他の CVD 法と比較して、工業用途に最も有望なダイヤモンド合成法となります。
- これにより、さまざまなガスの使用が可能になり、さまざまな産業ニーズに対応し、熱線によるダイヤモンドの汚染を回避できます。 MPCVD で製造されるダイヤモンドは、HPHT 法で製造されるダイヤモンドよりも純度が高く、製造プロセスの消費エネルギーも少なくなります。
- MPCVD 法により、より大きなダイヤモンドの製造が容易になります。
FAQ
Mpcvdとは何ですか?
Mpcvdマシンとは何ですか?
Mpcvd の利点は何ですか?
CVD ダイヤモンドは本物ですか、それとも偽物ですか?
4.8
out of
5
I'm marvelled by the MPCVD machine's ability to produce high-purity diamonds with minimal energy consumption.
4.9
out of
5
The MPCVD machine has revolutionized diamond synthesis, enabling the production of larger diamonds with exceptional quality.
4.7
out of
5
I highly recommend the MPCVD machine for its durability and cost-effectiveness. It's a game-changer in diamond synthesis.
4.6
out of
5
The MPCVD machine is user-friendly and requires minimal maintenance. It's a valuable asset for any laboratory.
4.8
out of
5
The MPCVD machine has enabled us to produce high-quality diamonds for various industrial applications. It's a reliable and efficient machine.
4.9
out of
5
The MPCVD machine's ability to adjust microwave power and control reaction temperature precisely is remarkable. It ensures consistent and high-quality diamond synthesis.
4.7
out of
5
The MPCVD machine stands out with its large-area stable discharge plasma, which enables the production of high-quality, large-sized single crystal diamonds.
4.6
out of
5
I'm thoroughly impressed with the MPCVD machine's ability to avoid contamination and produce purer diamonds compared to traditional methods.
4.8
out of
5
The MPCVD machine is an excellent choice for laboratories seeking to produce high-quality diamonds for research and industrial applications.
4.9
out of
5
The MPCVD machine has exceeded our expectations. It's a valuable addition to our laboratory, enabling us to produce diamonds with remarkable properties.
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