薄膜は通常、その厚さによって特徴付けられ、その範囲は数ナノメートルからミクロンに及ぶ。薄膜の厚さは、その電気的、光学的、機械的、熱的特性に大きく影響するため、非常に重要です。薄膜の厚さを正確に測定することは、様々な産業において製品の機能や設計を最適化するために不可欠です。
測定技術
薄膜の厚さは、光学的手法、特に薄膜の上下の界面間の光の干渉を利用して測定されることが多い。この方法は、フィルム表面と相互作用する光波によって生じる干渉パターンに依存する。干渉スペクトルに観察される山と谷の数から、フィルムの厚さを決定することができる。この手法は透明基板上の透明フィルムに有効で、透過測定と反射測定の両方を利用できる。
不透明基板の場合は、反射測定のみが適用できる。測定技術の選択は、基板とフィルム自体の透明度に依存する。材料の表面粗さが測定の精度に影響することがあるため、フィルムの表面品質を注意深く考慮する必要がある。薄さの定義：
薄膜」という用語は、厳密には特定の厚さによって定義されるのではなく、むしろ系の固有長尺スケールと比較した厚さの相対的スケールによって定義される。従来、薄膜は、その厚さ（dzと表記）が5μm（d0と表記）以下であれば「薄い」とされてきた。しかし、より正確な定義では、薄膜の厚さが系の内部長さスケールに匹敵するか、それ以下であれば、薄膜は薄いとみなされる。この内部長さスケールは、薄膜の特性や光などのエネルギーとの相互作用の仕方に関係している。
薄さの視覚化
