表面に物質を蒸着させる場合、一般的な方法としてスプレーとスパッタの2つがある。
これらの方法は、物質の塗布方法と物理的プロセスが大きく異なります。
スプレーとスパッタの違いを理解するための4つのポイント
1.蒸着方法
スプレー 一般的には、分散された霧を通して物質を塗布する。
多くの場合、圧力やノズルを使って物質を霧状にして細かい液滴にします。
噴霧は、塗装、農業、冷却システムなどの用途で一般的に使用されている。
スパッタリング一方、スパッタリングは物理的気相成長(PVD)技術である。
スパッタリングでは、高エネルギー粒子(通常はイオン)による爆撃によって、原子が固体ターゲット材料から放出される。
このプロセスは真空環境で行われ、アルゴンのような不活性ガスがイオン化されてプラズマが形成される。
このプラズマを利用してターゲット材料に衝突させ、原子を放出させて基板上に堆積させ、薄膜を形成する。
2.環境と条件
溶射 溶射は通常、大気中で行われる。
真空を必要としない。
スパッタリング は真空チャンバーを必要とする。
これによりコンタミネーションを防ぎ、成膜環境をよりよく制御することができる。
3.用途と材料
スパッタリング は、高い精度や均一性を必要としない用途によく使用される。
例えば、塗装や農業用スプレーなどである。
スパッタリング は、基板上に薄膜を成膜するハイテク産業で使用される。
膜厚や組成を正確に制御することが特に重要である。
半導体製造や光学コーティングなどがその例である。
4.エネルギーと温度
スプレー 機械的エネルギー、通常は圧力を伴う。
高エネルギー粒子やプラズマは含まない。
スパッタリング は、高エネルギーのイオンやプラズマを伴う。
これにより、低温でターゲット材料から原子を放出することができ、熱に弱い材料に適しています。
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