CVDコーティング（Chemical Vapor Deposition coating）は、表面に薄い層を蒸着させるプロセスである。
これは、高温の気相中で化学反応によって行われる。
CVDコーティングは、従来のセラミック製造プロセスで製造された同様の材料よりも、粒子が細かく、不浸透性で、純度が高く、硬いコーティングを製造することで知られています。
5つのポイント
1.CVDコーティングのプロセス
CVDプロセスでは、基板を1つ以上の揮発性前駆体にさらす。
これらの前駆体は、基板表面で反応・分解し、目的のコーティングを生成します。
これは通常、1000℃前後の温度で起こる。
この高温では、気体成分が工具表面の元素と反応し、高い接着強度を持つ層が形成される。
2.CVDコーティングの特徴
微細： コーティングは非常に小さな粒子で構成され、平滑性と均一性に寄与する。
不浸透性 他の物質が浸透しにくく、優れたバリアとなる。
高純度： CVDで使用される材料は純度が高いことが多く、不純物の少ないコーティングが得られます。
高い硬度： CVDコーティングは、他の多くの材料よりも硬いため、耐久性と耐摩耗性が向上します。
3.用途と利点
CVDコーティングは、工作機械、摩耗部品、分析機器など様々な産業で使用されています。
CVDコーティングは、耐摩耗性や耐腐食性が重要な高性能精密用途に特に有効です。
このプロセスでは、コーティングの組成と膜厚を精密に制御できるため、特定の用途要件に合わせることができる。
4.CVDの欠点
CVDに必要な高温は、時としてその適用を制限することがある。
すべての材料が劣化せずにこの条件に耐えられるとは限らない。
さらに、このプロセスは他の成膜方法に比べて時間がかかることがある。
また、複雑な装置や制御された環境が必要になることもある。
5.CVDにおける化学反応
CVDにおける化学反応の例としては、それぞれの前駆体ガスからの窒化チタン（TiN）と炭化チタン（TiC）の形成が挙げられる。
これらの反応により、基材に化学的・冶金的に結合する硬質で耐摩耗性のコーティングが得られます。
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