蛍光X線分析法（XRF：X-ray Fluorescence）は、蛍光X線スペクトロメーターを使って物質の元素組成を分析する方法である。これは、一次X線を使用して材料内の原子を励起し、それが存在する元素に特徴的な二次X線（蛍光）を放出することによって達成される。分析は、元素を特定する定性分析と、元素の濃度を測定する定量分析があります。蛍光X線分析法は、放出されるX線の分散と検出方法に基づいて、波長分散法とエネルギー分散法に分類されます。
1.波長分散型蛍光X線分析（WDXRF）：
結晶分光器を用いて蛍光X線を波長別に分離する方法。各元素は特定の波長でX線を放出し、それを検出して分析することで、試料に含まれる元素を特定します。WDXRFは分解能と感度が高く、詳細な元素分析に適しています。2.エネルギー分散型蛍光X線分析（EDXRF）：
この方法では、半導体検出器を使用して蛍光X線のエネルギーを直接測定します。これにより、可動部を必要とせずに複数の元素を同時に検出することができ、分析のスピードと簡便性が向上する。EDXRFは携帯性と汎用性が高いため、現場でのアプリケーションや迅速なスクリーニングに最適です。
3.ポータブル蛍光X線分析装置
これらの装置はハンドヘルド型であり、機動性と自律性を備えているため、ラボのセットアップを必要とせず、現場でのリアルタイム分析が可能である。金属リサイクル、環境モニタリング、製造業の品質管理など、即座の結果が重要な産業で特に役立ちます。4.蛍光X線分析における技術の進歩：
最近の進歩としては、多層膜結晶の開発があり、ベリリウム、ホウ素、炭素、窒素、酸素などの軽元素まで検出範囲が広がった。X線管の出力、コリメーション、検出器技術の向上により、最新の蛍光X線分析装置の感度と検出限界も向上している。
5.試料の前処理
