真空システムのリークを検出することは、その完全性と効率を維持するために不可欠です。
特に真空炉では、リークが重要なしきい値を超えると、性能に大きな影響を与えます。
ここでは、真空システムのリークを検出する5つの効果的な方法を紹介します。
真空システムのリークを検出する5つの方法
1.注入検出法
この伝統的な方法では、炉を排気してから炉外にヘリウムガスを注入します。
ヘリウム質量分析計を使用して、リークによって真空システムに侵入したヘリウムを検出します。
ヘリウムは小さな分子であり、わずかなリークでも容易に透過するため、この方法は効果的である。
質量分析計を使用することで、正確な検出が可能になる。
2.ノズル検出法
この方法は、熱交換器、水冷フランジ、電気フィードスルーなど、排気できない対象物に適している。
検査対象物は、漏れを示すガス（通常はヘリウム）で満たされます。
その後、センサー（多くの場合、ヘリウム質量分析計）を使用して、漏れ出すガスをチェックする。
この方法は、真空を直接適用できない場合に有利である。
3.不活性ガス漏れ検知
真空炉では不活性ガスシステムの完全性も重要です。
不活性ガスシステムのリークを検知する一般的な方法には、フィルム（シャボン玉）法と真空リーク検知がある。
シャボン玉法では、疑わしい部分に石鹸溶液を塗布し、気泡の有無を観察します。
真空リークディテクションでは、システム内の圧力上昇率をモニターしてリークを検出する。
4.予防メンテナンスとモニタリング
定期的な予防メンテナンスと処理中の真空レベルの継続的な監視は、リークを迅速に発見し対処するために不可欠である。
これには、真空フィードスルー、ポンプ、Oリング、フラン ジシール面の定期点検が含まれる。
リークが検出された場合、炉は通常窒素で再充填され、再検査されます。
リークが続く場合は、ヘリウムリーク点検を含むより大がかりなメンテナンスが必要になることもあります。
5.一時的修理と恒久的修理
早急な修理には、真空泥を使用してリークを一時的にシールすることができる。
より恒久的な解決策としては、必要に応じてシール、バルブ、その他のコンポーネントを修理または交換することである。
ポンプオイルとそのレベルの定期的なチェックも、真空システムの完全性を維持するための一部です。
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