真空システム、特に真空炉のリークを検出するために、いくつかの方法が採用されている。これらの方法は、真空システムの完全性と効率を維持し、リーク率が炉の性能に影響を及ぼす可能性のある重要な閾値を超えないようにするために極めて重要です。
注入検出法：
この伝統的な方法では、炉を排気してから炉外にヘリウムガスを注入し、通常はヘリウム質量分析計を使用します。分光計はリークを通して真空システムに侵入したヘリウムを検出し、リークの存在と位置を示します。この方法は、ヘリウムが小さな分子であるため、わずかなリークでも容易に透過することができ、質量分析計と併用することで正確な検出が可能になるため効果的です。ノズル検出法：
この方法は、熱交換器、水冷フランジ、電気フィードスルーなど、排気できない対象物に適している。検査対象物は、漏れを示すガス（通常はヘリウム）で満たされる。その後、センサー（多くの場合、ヘリウム質量分析計）を使用して、漏れ出すガスをチェックする。この方法は、真空を直接適用できない場合に有利である。
不活性ガスリーク検知
不活性ガスシステムの完全性も真空炉では重要です。不活性ガスシステムのリークを検出する一般的な方法には、フィルム（シャボン玉）法と真空リーク検出があります。シャボン玉法では、疑わしい部分に石鹸溶液を塗布し、漏れがある場合に形成される泡を観察します。真空リーク検知では、システム内の圧力上昇率をモニターしてリークを検知する。予防メンテナンスとモニタリング
リークを迅速に発見し対処するためには、定期的な予防メンテナンスと加工中の真空レベルの継続的な監視が不可欠である。これには、真空フィードスルー、ポンプ、Oリング、フランジシール面の定期点検が含まれる。リークが検出された場合、炉は通常窒素で再充填され、再検査されます。リークが続く場合は、ヘリウムリークチェックを含むより大がかりなメンテナンスが必要になることもあります。
