真空システムの漏れを検出することは、運用効率を維持し、安全性を確保するために重要です。単純な目視検査から、ヘリウム漏れ検出や残留ガス分析などの高度な技術に至るまで、さまざまな方法が採用されています。以前の漏れ箇所を追跡したり、摩耗したコンポーネントを交換したりするなどの予防メンテナンスも不可欠です。高温シーラントなどの一時的な解決策は運転中に使用できますが、ひび割れた部品の溶接やガスケットの交換などの恒久的な修理はシャットダウン中に実行されます。どの方法を選択するかは、システムの複雑さ、漏れの種類、状況の緊急度によって異なります。
重要なポイントの説明:
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ヘリウムリークの検出:
- ヘリウムリークディテクターは、その感度と精度により広く使用されています。このプロセスでは、ヘリウム ガスをシステムに導入し、質量分析計を使用してシステム外のヘリウム ガスの存在を検出し、漏れを示します。
- 2 つの一般的なテクニックは、 ブロー法 (チャンバーを真空にし、外部からヘリウムを供給する) 吸引ノズル方式 （テスト対象物にヘリウムを充填し、漏れるガスを検出します）。
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残留ガス分析 (RGA):
- RGA は、真空システム内に存在するガスを分析する高度な方法です。残留酸素またはその他のガスが突然増加した場合は、漏れが発生している可能性があります。
- この方法は、正確な位置を特定することが困難な複雑なシステムでの漏れを特定する場合に特に役立ちます。
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正圧漏れ検出:
- この方法では、システムを加圧し、分析装置を使用してガス濃度を測定します。残留酸素の大幅な増加または水素レベルの低下 (3% 未満) は、漏れの兆候である可能性があります。
- 携帯型水素検知器は、疑わしいエリアの気密性を確認するためによく使用されます。
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目視および物理的検査:
- シール、ガスケット、バルブ、熱電対などのコンポーネントを定期的に検査することが重要です。老朽化した部品や損傷した部品はすぐに交換してください。
- ビニール袋とヘリウムガスを使用して熱電対ヘッドの漏れをチェックするなどの手法は、特定のコンポーネントに対して効果的です。
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一時的および恒久的な修理:
- 一時的な解決策: システムの動作中に、高温シーラントを適用して漏れをシールできます。真空泥は緊急修理のためのもう一つの選択肢です。
- 永久修理: 停止中は、ひび割れた部品を溶接し、古くなったガスケットとスナップリングを交換し、緩んだネジを締める必要があります。技術的な問題があるコンポーネントは直ちに交換する必要があります。
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断面リーク検出:
- 真空シリコンチューブ用の穴を備えたブラインドプレートを使用すると、真空システムのセクションを分離して個別にテストできます。この方法は、漏れの場所を絞り込むのに役立ちます。
- 漏れが疑われる箇所にアセトンまたはエーテルを注入し、真空計の測定値の変化を観察することも効果的な手法です。
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予防保守:
- 以前の漏れ箇所を追跡し、一時的なシール剤を交換することは、将来の漏れを防ぐために不可欠です。
- 定期的なメンテナンス プログラムには、劣化したコンポーネントや損傷したコンポーネントの検査と交換を含め、システムに漏れがないことを確認する必要があります。
これらの方法を組み合わせることで、オペレーターは真空システムの漏れを効果的に検出して対処し、最適なパフォーマンスと寿命を保証できます。
概要表:
| 方法 | 説明 |
|---|---|
| ヘリウムリークの検出 | ヘリウムガス分析計と質量分析計を使用し、漏れを高感度に検出します。 |
| 残留ガス分析 (RGA) | 残留ガスを分析して複雑なシステムの漏れを特定します。 |
| 正圧漏れ検出 | システムを加圧してガス濃度を測定し、漏れを検出します。 |
| 目視および物理的検査 | シール、ガスケット、バルブを定期的にチェックし、損傷したコンポーネントを交換します。 |
| 応急修理 | 運転中の緊急シール用の高温シーラントまたは真空泥。 |
| 永久修理 | システムのシャットダウン中に溶接、ガスケットの交換、ネジの締め付けを行います。 |
| 断面リーク検出 | ターゲットを絞った漏れ検出のためにシステムのセクションを隔離します。 |
| 予防保守 | 過去の漏れを追跡し、老朽化したコンポーネントを交換して将来の問題を防ぎます。 |
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