スパッタリングターゲットの厚さについては、提供された文献に明確な記載はないが、いくつかの関連情報を推測することはできる。スパッタリングターゲットは通常、金属、合金、セラミックなどの高品質材料で作られた固体スラブであり、その寸法は工具に固有である。参考文献は、純度、密度、表面粗さなど、スパッタリングターゲットの特性と用途に重点を置いているが、ターゲットの厚さについては直接述べていない。しかし、スパッタリングによって生成されるコーティングの厚さは、オングストロームからミクロンに及ぶと言及されており、ターゲット自体よりもかなり薄い。正確な厚さの仕様については、メーカーのデータシートや業界標準を参照する必要がある。
キーポイントの説明
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スパッタリングターゲットの定義と組成:
- スパッタリング・ターゲットは、純金属、合金、化合物（酸化物や窒化物など）などの材料で作られた固体スラブである。
- 基板上に薄膜を形成するスパッタリング工程で使用される。
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スパッタリングターゲットの形状とサイズ:
- ターゲットは平らなものと円筒形のものがあり、正確な寸法は工具によって異なる。
- 平らなターゲットはより一般的でコスト効率に優れ、リング状のターゲットは特定のチャンバー設計で使用される。
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材料の品質と要件:
- スパッタリングターゲットは、高品質でクラックがなく、純度、密度、粒径、表面粗さに関する厳しい基準を満たすものでなければならない。
- これらの要件は、汚染のない薄膜の製造を保証する。
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コーティングの厚さとターゲットの比較:
- 参考文献によると、スパッタリングで生成されるコーティングの厚さはオングストロームからミクロンに及ぶ。
- この厚さはターゲットそのものよりもかなり薄く、耐久性のあるソース材料として機能させるためにはターゲットがはるかに厚くなければならないことを示している。
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ターゲットの厚さに関する推論:
- スパッタリングターゲットの正確な厚さは規定されていないが、通常、スパッタリングプロセスに耐えるように設計された中実のスラブである。
- 厚さは、用途、材料の種類、工具の要件によって異なる。
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購入者のための実用的な考慮事項:
- スパッタリングターゲットを購入する際は、ツール固有の寸法、材 質、およびアプリケーション要件を考慮してください。
- 正確な厚さの仕様については、メーカーのデータシートや業界標準を参照してください。
スパッタリングターゲットの特性と用途に注目することで、その厚さはスパッタリングプロセスや使用装置の特定のニーズに合わせて調整されていることが推測できる。正確な測定については、さらなる調査やメーカーへの問い合わせを推奨する。
要約表
| アスペクト | 詳細 |
|---|---|
| 組成 | 金属、合金、セラミックス（酸化物、窒化物など） |
| 形状とサイズ | 平面または円筒形、寸法は工具による |
| 材料品質 | 高純度、密度、粒度、表面粗さ |
| コーティング厚さ | オングストロームからミクロンまで（ターゲット自体よりはるかに薄い） |
| ターゲットの厚さ | 明確な記載はなく、工具固有の厚みと推測される |
| 購入のヒント | 正確な詳細については、メーカーのデータシートまたは業界標準を参照してください。 |
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