スパッタリングターゲットの厚さは、いくつかの要因によって変化する。
これらの要因には、使用される材料や作成される薄膜の性質が含まれる。
ニッケルなどの磁性材料のマグネトロンスパッタリングでは、より薄いターゲットが使用される。
これは通常、厚さ1 mm未満の箔またはシートである。
通常の金属ターゲットの場合、4～5 mmまでの厚さが許容範囲とされる。
酸化物ターゲットも同様である。
スパッタリングターゲットのサイズと形状も大きく異なる。
最小のターゲットは直径1インチ（2.5cm）未満である。
最も大きな長方形のターゲットは長さが1ヤード（0.9m）を超えることもある。
場合によっては、より大きなターゲットが必要になることもある。
メーカーは、特殊なジョイントで接続された分割ターゲットを作ることができる。
スパッタリングターゲットの一般的な形状は円形と長方形である。
正方形や三角形など他の形状も製造可能である。
円形ターゲットの標準サイズは直径1インチから20インチである。
長方形ターゲットの長さは最大2000mmまで、またはそれ以上。
これは金属と、それがシングルピース構造かマルチピース構造かによって異なります。
スパッタリングターゲットの製造方法は、ターゲット材料の特性とその用途によって異なる。
真空溶解圧延法、ホットプレス法、特殊プレス焼結法、真空ホットプレス法、鍛造法などが使用できる。
スパッタリングターゲットは通常、純金属、合金、または酸化物や窒化物のような化合物から成る固体スラブである。
スパッタリングによって成膜される皮膜の厚さは、通常オングストロームからミクロンの範囲である。
薄膜は単一の材料であることも、複数の材料を層状に重ねた構造であることもある。
反応性スパッタリングもまた、酸素のような非不活性ガスを元素ターゲット材料と組み合わせて使用するプロセスである。
これにより化学反応が起こり、新しい化合物膜が形成される。
要約すると、スパッタリングターゲットの厚さは材料や用途によって異なる。
磁性材料の1mm未満から、通常の金属や酸化物ターゲットの4～5mmまでの幅がある。
スパッタリングターゲットのサイズと形状も大きく異なる。
円形ターゲットは直径1インチから20インチまで、長方形ターゲットは最大2000mm以上の長さがあります。
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