はい、SiO2はスパッタリングできます。
これは反応性スパッタリングと呼ばれるプロセスによって実現されます。
このプロセスでは、シリコン（Si）がターゲット材料として使用されます。
ターゲット材料は、非不活性ガス、特に酸素（O2）の存在下で使用されます。
スパッタされたシリコン原子とスパッタチャンバー内の酸素ガスとの相互作用により、薄膜として二酸化ケイ素（SiO2）が形成される。
SiO2はスパッタリングできるのか？5つの重要な発見
1.反応性スパッタリングの説明
反応性スパッタリングは、薄膜形成に用いられる技術である。
酸素などの反応性ガスをスパッタリング環境に導入する。
SiO2を成膜する場合、スパッタチャンバー内にシリコンターゲットを設置する。
酸素ガスが導入される。
シリコンがスパッタされると、放出された原子が酸素と反応してSiO2が形成される。
このプロセスは、薄膜に望ましい化学組成と特性を得るために極めて重要である。
2.屈折率のカスタマイズ
この文献では、コスパッタリングにも言及している。
コ・スパッタリングでは、スパッタチャンバー内で複数のターゲットを使用する。
例えば、酸素が豊富な環境でシリコンとチタンのターゲットを共スパッタリングすることで、屈折率をカスタマイズした薄膜を作成することができる。
各ターゲットに印加する電力を変化させることで、蒸着膜の組成を調整することができる。
これにより、SiO2（1.5）とTiO2（2.4）の典型的な値の間で屈折率を制御することができる。
3.スパッタリングの利点
スパッタリングは他の成膜方法よりも有利である。
スパッタリングは、基板との密着性に優れた膜を作ることができる。
また、融点の高い材料にも対応できる。
蒸発蒸着では不可能な、上から下へのプロセスも可能です。
さらに、スパッタリングシステムには、その場での洗浄や基板の予熱など、さまざまなオプションを装備することができる。
これにより、蒸着膜の品質と機能性が向上する。
4.シリコンスパッタリングターゲットの製造
シリコンスパッタリングターゲットは、シリコンインゴットから製造される。
電気めっき、スパッタリング、蒸着など、さまざまな方法が用いられる。
これらのターゲットは反射率が高く、表面粗さが小さくなるように設計されている。
これにより、パーティクル数の少ない高品質のSiO2膜を確実に製造することができる。
このプロセスには、ターゲットの表面状態を最適化するために、追加の洗浄やエッチング工程が含まれることもある。
5.SiO2スパッタリングのまとめ
まとめると、SiO2は反応性スパッタリングによって効果的に製造できる。
このプロセスでは、堆積膜の化学組成と特性を精密に制御することができる。
この方法は汎用性が高く、高融点材料を扱うことができる。
屈折率など特定の膜特性を達成するためにカスタマイズすることも可能です。
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