スパッタコーティングは、主に走査型電子顕微鏡（SEM）の試料作製に使用され、導電性の向上、帯電効果の低減、電子ビームによる損傷からの試料の保護を目的としている。この技術では、金や白金などの金属の薄層を試料表面に蒸着させます。
導電性の向上： SEMでは、帯電を防ぎ正確なイメージングを行うために、試料に導電性が求められます。スパッタコーティングは、電気を通す薄い金属膜を形成することで、画像を歪ませたり試料を損傷させたりする静電場の蓄積を防ぎます。また、金属膜はSEMのイメージングに重要な二次電子の放出も改善します。
帯電効果の低減： SEMの非導電性試料は、電子ビームに曝されると電荷を蓄積し、画像の歪みや試料の損傷につながります。導電性金属によるスパッタコーティングは、これらの電荷を中和し、試料の完全性とSEM画像の品質を維持します。
試料の保護 SEMの電子ビームは、特に熱に敏感な試料に熱損傷を与える可能性があります。スパッタコーティングは、電子ビームの直接照射から試料を遮蔽する保護層を提供し、熱損傷を低減します。これは特に生物学的試料に有益であり、大きな変化や損傷を与えることなくコーティングすることができます。
複雑な表面への適用 スパッタコーティングは、複雑な3次元表面にも効果的です。この能力は、試料が複雑な形状を持つことがあるSEMにおいて極めて重要です。この技術は、昆虫の羽や植物組織のような繊細な構造であっても、物理的または熱的な損傷を与えることなく、均一なコーティングを保証します。
要約すると、スパッタコーティングは、試料の電気的特性を向上させるだけでなく、分析中の潜在的な損傷から試料を保護し、高品質で正確なイメージングを保証するため、SEM試料作製に不可欠です。
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