拡散真空ポンプの動作原理は、真空チャンバーから気体分子を捕捉して抽出し、高真空レベルを達成するための流体（多くの場合、油と呼ばれる）の気化と凝縮に基づいています。ポンプは可動部品なしで作動し、真空を作り出し維持するために流体の特性とポンプの設計に依存しています。
作動原理の概要
拡散真空ポンプは、沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕獲し、別の場所に移動して冷却し、空気分子を放出します。重力と蒸気の下向きの組み合わせにより、空気分子はポンプの底に向かって移動し、そこで排出され、チャンバー内の高真空が維持されます。
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詳しい説明流体を加熱する：
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操作は、ヒーターによる拡散ポンプオイルの加熱から始まります。この加熱はボイラープレート内で行われ、オイルを沸騰温度にする。オイルの気化は、ポンプ作用に必要な蒸気流を発生させるため、非常に重要である。
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蒸気圧縮とジェット作用：
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上昇するオイル蒸気は、高さ方向に噴射口を持つ垂直テーパー・スタックで圧縮される。これらの噴射口は、傘のような蒸気の流れを作るように角度がつけられています。この蒸気の流れは、真空チャンバーから空気分子を効果的に捕獲するように設計されています。気体分子の捕獲と輸送
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角度をつけた噴射口は、真空チャンバーからガス分子を掃き出すように蒸気流を誘導します。高速の蒸気流は、蒸気とガス分子間の運動量移動により、これらの分子を真空チャンバーから下方に運びます。
凝縮と放出
ポンプ外側の冷却凝縮コイルがオイル蒸気の凝縮を促進します。蒸気が冷却され凝縮すると、捕獲されたガス分子はポンプの底部付近で放出される。このプロセスは、オイルをシステムに再循環させるだけでなく、真空チャンバーからのガス分子の継続的な除去を確実にします。
