拡散真空ポンプは、しばしばオイルと呼ばれる流体を気化・凝縮させ、真空チャンバーからガス分子を捕獲・抽出することで機能する。このプロセスは、高真空レベルを達成するのに役立ちます。ポンプは可動部品なしで作動し、真空を作り出し維持するために流体の特性とポンプの設計に依存しています。
5つの主要ステップ
1.流体の加熱
操作は、ヒーターを使用して拡散ポンプオイルを加熱することから始まります。この加熱はボイラープレート内で行われ、オイルを沸騰温度にします。オイルの気化は、ポンプ作用に必要な蒸気流を発生させるため、非常に重要である。
2.蒸気圧縮とジェット作用
上昇するオイル蒸気は、高さ方向に沿ってジェット開口部を持つ垂直テーパー・スタックで圧縮される。これらの噴射口は、傘のような蒸気流を作り出すように角度がつけられている。この蒸気流は、真空チャンバーからの空気分子を効果的に捕捉するように設計されています。
3.気体分子の捕獲と輸送
角度をつけた噴射口は、真空チャンバーからガス分子を掃き出すように蒸気流を誘導します。高速の蒸気流は、蒸気とガス分子間の運動量移動により、これらの分子を真空チャンバーから下方に運びます。
4.凝縮と放出
ポンプ外側の冷却凝縮コイルがオイル蒸気の凝縮を促進します。蒸気が冷却され凝縮すると、捕獲されたガス分子はポンプの底部付近で放出される。このプロセスは、オイルをシステムに再循環させるだけでなく、真空チャンバーからのガス分子の連続的な除去を確実にします。
5.真空の維持
ポンプの上部（真空チャンバーに接続）と下部間の差圧は、チャンバー内の高真空を引き下げるのに役立ちます。この差圧は、ポンプ内の気化、捕獲、凝縮プロセスの連続運転によって維持されます。
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