XRF分析は、X線を物質に照射し、その結果生じる蛍光放射を測定することによって、物質の元素組成を決定するために使用される非破壊技術です。このプロセスにはいくつかの重要なステップがあります：
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試料の前処理:試料の種類（固体、粉末、液体）によって、前処理方法は異なる。固体試料の場合、必要なのは平らで清潔な表面である。粉末試料は粉砕してホモジナイズすることが多く、液体は正確な測定のために特別な取り扱いが必要です。固体試料や粉末試料の一般的な前処理方法のひとつに、プレス成形によるペレット化があります。これにより、元素の均一な分布が確保され、正確な分析が容易になります。
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X線照射:X線源またはX線管から発生するX線を試料に照射する。このX線が試料中の原子と相互作用し、電子が異なる軌道に移動する際に二次X線（蛍光放射）を放出する。
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検出と分析:放出された蛍光放射線は、蛍光X線分析装置によって検出されます。各元素は固有の蛍光スペクトルを生成するため、試料に含まれる元素の同定と定量が可能になります。検出器はこの情報を処理し、さまざまなピークの強さに基づいて、さまざまな元素の存在と濃度を示すスペクトルを生成します。
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結果の解釈:蛍光X線分析装置によって生成されたスペクトルを分析し、試料の元素組成を決定します。この分析は、セメント、鉱業、工業用鉱物など、原料や最終製品が特定の基準を満たさなければならない産業における品質管理に極めて重要です。
蛍光X線分析のプロセスは比較的簡単で、一般的に複雑なサンプル前処理を必要としないため、幅広い産業や用途における元素分析の効率的で効果的な手法となっています。
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