二段真空ポンプは、超高真空（UHV）レベルを達成するために設計されている。
このレベルは通常、約100ナノパスカル（10-7パスカル、10-9mbar、～10-9torr）より低い圧力を特徴とする。
このタイプのポンプは、真空性能を高めるために二段式機構を利用している。
2段式真空ポンプの圧力と性能に関する4つの重要な洞察
1.二段式メカニズム
2段式真空ポンプには、2組のローターとベーンがあります。
最初のステージは高真空ステージとして知られ、プロセスガスを取り込みます。
このステージは、最初に圧力を低レベルに下げます。
その後、ガスは低真空ステージである第2ステージに移送される。
ここで、ガスは大気圧近くまでさらに圧縮される。
この二段式プロセスにより、単段式ポンプに比べて全体的な真空性能が大幅に向上する。
2.真空レベルの向上
二段式真空ポンプの主な利点は、より優れた真空性能でより深い圧力レベルを達成できることです。
これは、高純度かつ最小限のガス汚染が要求される産業用途において極めて重要です。
2段式設計により、より効率的にガスを除去し、よりクリーンで安定した真空環境を実現します。
3.産業現場での応用
産業環境では、超高真空アプリケーションの厳しい要件に対応する能力から、2ステージ真空ポンプが好まれることがよくあります。
特に、半導体製造のような残留ガスレベルが非常に低いプロセスで有用です。
微量の汚染物質であっても、製品の品質に影響を与える可能性がある。
4.操作効率
二段真空ポンプの運転効率は、その設計によって向上します。
これには、低真空排気用のドライポンプと高真空排気用の分子ポンプが含まれる。
この組み合わせは、オイル汚染のリスクを低減するだけでなく、水蒸気のような特定のガスの除去も向上させます。
これは、真空環境の完全性を維持する上で非常に重要である。
まとめると、2段式真空ポンプは超高真空レベルを達成・維持するように設計されています。
そのため、高真空性能が重要な産業において不可欠なツールとなっています。
デュアルステージ設計と効率的なガス除去機能により、シングルステージポンプとは一線を画しています。
これにより、減圧とガス純度の面で優れた性能を発揮します。
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