真空炉の検出可能な最低リーク率は、提供された参考文献に詳述されていますが、使用年数と重要度によって異なります。新型炉の場合、許容可能な最低リーク率は通常70ミクロン以下の圧力で毎時10ミクロンです。古い炉の場合、許容リーク率は若干高く、20～25ミクロン/時まで許容されます。超合金や反応性金属の処理などの重要な用途では、処理される材料の完全性と品質を確保するため、1時間当たり5ミクロン未満のリーク率が必須です。
リーク率は、1 x 10^-4 torr以上の真空を達成した後、ポンプシステムを炉室から隔離し、経時的（通常30分後と60分後）に真空レベルをモニターすることによって決定されます。圧力の上昇率がリーク率を示す。わずかなリークでも炉内環境に大きな影響を与え、残留酸素量の増加や熱処理結果に悪影響を及ぼす可能性があるため、この方法は極めて重要です。
低いリーク率を維持するためには、包括的な予防保全プログラムが不可欠です。これには真空フィードスルー、Oリング、フランジシール面、ポンプの定期点検が含まれます。処理中の真空レベルを継続的に監視することも、潜在的なリークの早期発見に役立ちます。炉のリーク率が規定値を超える場合は、生産に使用する前に修理する必要があります。これには熱電対継手の締め付け、炉の再試験、ひどい場合はヘリウムリークチェックの実施が含まれる。
スモークジェネレーターを使用するなどのリーク検出方法も、他の方法では検出が困難なリークを見つけるために採用される。これらの方法は、炉が冷えていて、すべての可燃物がパージされている場合に特に効果的である。煙は潜在的なリークに浸透し、炉から出るときに見えるので、リークの場所を示す。
全体として、真空炉のリーク率を低く維持することは、熱処理プロセスの品質と効率を確保する上で、特に繊細な用途では極めて重要です。定期的なテスト、メンテナンス、効果的なリーク検出方法の使用は、これらのシステムを管理する上で不可欠な要素です。
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