真空炉に関しては、検出可能な最小リーク率は熱処理プロセスの品質と効率に大きく影響する重要な要素です。
検出可能な最小リーク率とは？(考慮すべき4つのキーファクター)
1.適用年齢と重要度
検出可能な最小リーク率は、使用される炉の年数と重要度によって異なります。
新しい炉の場合、許容可能な最低リーク率は通常、圧力70ミクロン以下で毎時10ミクロンです。
古い炉の場合、許容リーク率は若干高く、20～25ミクロン/時まで許容されます。
超合金や反応性金属の処理など重要な用途では、処理される材料の完全性と品質を確保するため、毎時5ミクロン以下のリーク率が必須です。
2.リーク率の決定
リーク率は、1 x 10^-4 torr以上の真空を達成した後、ポンプシステムを炉室から隔離して決定します。
通常30分後と60分後の真空レベルを経時的にモニターすることが、リーク率の決定に役立ちます。
圧力の上昇率がリーク率を示す。
わずかなリークでも炉内環境に大きな影響を与え、残留酸素量の増加や熱処理結果に悪影響を及ぼす可能性があるため、この方法は極めて重要です。
3.予防保全
低いリーク率を維持するためには、包括的な予防保全プログラムが不可欠です。
これには、真空フィードスルー、Oリング、フランジシール面、ポンプの定期点検が含まれます。
処理中の真空レベルを継続的に監視することも、潜在的なリークの早期発見に役立ちます。
炉のリーク率が規定値を超える場合は、生産に使用する前に修理する必要があります。
これには熱電対継手の締め付け、炉の再試験、重度の場合はヘリウムリークチェックの実施などが含まれる。
4.リーク検知方法
スモークジェネレーターを使用するなどのリーク検出方法も、他の方法では検出が困難なリークを見つけるために採用される。
これらの方法は、炉が冷えていて、すべての可燃物がパージされている場合に特に効果的である。
煙は潜在的な漏れに浸透し、炉から出るときに見えるため、漏れの場所を示すことができます。
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