拡散真空ポンプは、可動部のない真空ポンプの一種で、沸騰流体の蒸気を利用してチャンバー内の空気分子を捕捉・除去し、10^-2～10^-10torrの高真空レベルを達成する。このタイプのポンプは、ピストンやフィンのような物理的な機構を使って空気を置換する機械式ポンプとは異なります。拡散ポンプは流体同伴ポンプに分類され、作動流体の蒸気が空気分子を巻き込む働きをします。このプロセスは、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途で非常に重要です。
拡散真空ポンプの運転には、フォアライン上の圧力を低く維持し、ポンプオイルがチャンバー内に逆流しないようにするためのホールディングポンプの使用が含まれる。これは、真空バルブの適切なシーケンスと組み合わされた自動インターロック真空ポンプダウンによって達成される。ポンプの設計と運転は、真空環境の完全性を維持するために不可欠なポンプ液による真空チャンバーの汚染を防ぐために最適化されています。
真空システムでは、ディフュージョンポンプは、機械式ポンプやロータリーベーンポンプなどの他のタイプのポンプと組み合わせて、目的の真空レベルを達成するために使用されることがよくあります。機械式ポンプは通常、大気圧から中間レベルまでの初期排気用に使用され、拡散ポンプは機械式ポンプだけで発生できる圧力よりも低い圧力を達成するために使用されます。このポンプの組み合わせは、クリーンで安定した真空環境を維持することが重要な真空炉やその他の高真空アプリケーションで一般的です。
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