拡散真空ポンプは、可動部のない真空ポンプの一種である。
沸騰する液体の蒸気を利用して、チャンバー内の空気分子を捕捉し、除去します。
これにより、10^-2～10^-10torrの高真空レベルを達成することができる。
拡散ポンプは、ピストンやフィンのような物理的な機構を使って空気を置換する機械式ポンプとは異なります。
これらのポンプは流体同伴ポンプに分類されます。
このタイプのポンプでは、作動流体の蒸気が空気分子を巻き込む働きをする。
その後、空気分子は方向付けられ冷却され、別の場所に放出されます。
このプロセスは、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途で非常に重要です。
理解すべき5つのポイント
1.可動部のない操作
拡散真空ポンプは可動部品なしで作動します。
これは、物理的なメカニズムに依存する機械式ポンプとの大きな違いである。
2.沸騰流体の蒸気を利用
沸騰する液体の蒸気を利用して、空気分子を捕捉・除去するポンプです。
この方法により、高い真空レベルを達成することができる。
3.流体の巻き込みプロセス
作動流体の蒸気が空気分子を巻き込みます。
これらの分子はその後、方向付けられ冷却され、別の場所に放出される。
4.産業用途に不可欠
拡散ポンプは、さまざまな産業用途に不可欠です。
電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などである。
5.他のポンプとの組み合わせ
真空システムでは、拡散ポンプはしばしば他のタイプのポンプと組み合わせて使用されます。
機械式ポンプやロータリーベーンポンプは、一般的に初期排気用に使用されます。
拡散ポンプは、機械式ポンプだけで発生できる圧力よりも低い圧力を実現するために採用されます。
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