技術チーム · Kintek Solution

拡散ポンプは、さまざまな産業用途で高真空を作り出すために使用され、沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕捉し移動させることにより、可動部品なしで動作します。

回答の要約

拡散ポンプは流体同伴ポンプの一種で、沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕捉し、その空気分子を別の場所に移動させて冷却後に放出します。このプロセスにより、ポンプは10-2～10-10torrの高真空を作り出すことができ、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などの用途に適しています。

1. 詳しい説明動作原理：

2. ピストンやフィンを使用して物理的に空気を置換する機械式ポンプとは異なり、拡散ポンプは、沸騰させて蒸気を発生させる流体（多くの場合、オイルと呼ばれる）を使用します。この蒸気が空気分子を捕らえ、ポンプの底部まで運び、そこで冷却して放出します。重力による蒸気の下向きの流れがこのプロセスを助けます。使用する流体の種類：

3. ポンプはさまざまな種類の流体を使用することができ、それぞれが特定の特性を持つ。例えば、ポリフェニルエーテルは電子線照射に耐性があり、蒸気圧が低いため、特定のハイテク用途に適している。一方、パーフルオロポリエーテルは非常に不活性で、加熱すると分解して気体になるため、真空の完全性を維持するのに有効ですが、毒性があるため取り扱いには注意が必要です。用途

4. 可動部品なしで高真空を発生させる拡散ポンプの能力は、さまざまな産業用途で耐久性と信頼性を発揮します。これには、電子ビームの動作に高真空が不可欠な電子ビーム顕微鏡や、真空環境で材料を気化させて基板上に蒸着させる真空蒸着などの重要なプロセスが含まれます。メンテナンスと運転

5. 拡散ポンプは最小限のメンテナンスしか必要とせず、主にオイルレベルとヒーターシステムの監視とメンテナンスが必要です。効率的な運転には、ヒーターエレメントの適切なアライメントが重要です。他のポンプとの比較

ディフュージョンポンプは、インペラや蒸気の勢いを利用して出口に向かってガスを押し出すキネティックポンプとは大きく異なります。キネティックポンプは一般的に高圧用途に使用され、真空システムにおいては二次ポンプとみなされます。

結論として、拡散ポンプは産業環境において高真空を作り出すための特殊なツールであり、さまざまな流体の特性を利用して、空気分子を効果的かつ効率的に捕捉・除去します。