蛍光X線分析における主な誤差は、一般的に試料前処理技術、特にコンタミネーションとクロスコンタミネーションに関連しています。これらの誤差は、元素組成分析の精度に大きな影響を与えます。
コンタミネーション
蛍光X線分析試料前処理におけるコンタミネーションは、しばしば研磨工程で発生します。これは、試料前処理装置からの外部成分が不注意で試料に混入した場合に起こります。例えば、粉砕装置からの物質がサンプルと混ざり、不正確な結果につながることがあります。さらに、特に様々な種類のサンプルを処理する環境では、他のサンプルからの交差汚染も起こり得ます。試料間の交差汚染
この種の汚染は、さまざまな種類のサンプルを分析する場合に特に問題となります。同じ装置を複数のサンプルに使用し、その間に適切な洗浄を行わない場合、交差汚染が発生する可能性があります。これにより、異なるサンプルの元素が混ざり合い、分析されるサンプルの実際の組成が歪む可能性があります。
校正用標準試料とルーチン試料の調製
蛍光X線分析の精度は、認証標準物質を使用した装置の校正に大きく依存しています。校正標準試料とルーチン試料が同じ方法で準備されていない場合、検量線に誤差が生じ、分析の精度に影響を及ぼす可能性があります。したがって、結果の信頼性を確保するためには、校正標準物質と未知試料の両方を調製するための一貫した方法を開発することが極めて重要です。
測定への影響