許容されるリーク検知方法には、発煙装置の使用、シャボン玉テスト、ヘリウム質量分析計による真空リーク検知などがある。
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発煙装置による方法:この方法では、すべての可燃物をパージした後、低温炉内に発煙装置を設置する。発煙装置に点火すると、煙のプルームが潜在的なリークに浸透し、それが炉から出るときに見える。この方法は、見つけにくい漏れを見つけるのに特に効果的である。
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シャボン玉試験:この方法は簡単で、水と食器用液体石鹸の溶液を漏れの疑いのある部分に噴霧する。空気漏れがある場合、気泡が形成され、漏れの存在を示します。この方法は高圧不活性ガス漏れによく使われ、素早く簡単に実行できます。
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ヘリウム質量分析計による真空リーク検出:この方法はより正確で、非常に低いリーク率が必須の重要な用途に使用されます。このプロセスでは、真空炉を外部のガスシステムから隔離し、システムを真空にしてから、ヘリウム質量分析計を使ってリークを検出します。この装置はヘリウムに感度があり、非常に小さなリークも検出するトレーサーガスとして使用される。システムにヘリウムを導入し、漏れを示すヘリウム濃度の上昇をモニターすることで、システムの漏れをチェックする。
これらの方法はそれぞれ特定の目的を果たすものであり、システムの性質とアプリケーションの重要性に基づいて選択される。スモークジェネレーター法は、密閉された広い空間でのリークを視覚化するのに有効であり、シャボン玉テストは、アクセス可能なエリアでのリークを確認する実用的かつ即時的な方法である。ヘリウム質量分析計による真空リーク検出は、非常に低いリーク率を維持することが真空システムの完全性と効率にとって重要である高精度のアプリケーションに不可欠です。
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