スパッタリングターゲットの寿命はいくつかの要因に影響される。
これらの要因を理解することで、スパッタリングターゲットの寿命を最大限に延ばすことができます。
スパッタリングターゲットの寿命は？考慮すべき5つの主要要因
1.ターゲットの材質
ターゲットの材質は極めて重要である。
金属、セラミック、プラスチックなど、材質によって寿命は異なります。
例えば、モリブデンターゲットは導電性薄膜に使用され、他のターゲットと同様の使用条件にさらされる。
2.印加電力とデューティサイクル
印加電力とデューティサイクルはターゲットの寿命に大きく影響する。
10%以下のデューティサイクルは、「オフ」時間中にターゲットを冷却し、過熱を防ぎ、プロセスの安定性を維持します。
3.ターゲット材料の品質
ターゲット材料の純度、密度、均一性は寿命に影響します。
不純物が少なく、構造的完全性に優れた高品質のターゲットは、一般的に長持ちします。
4.操作環境
真空条件や不活性ガスフローを含む操作環境は、ターゲットの寿命に影響する。
良好に維持された真空環境は、汚染リスクを低減し、ターゲットの完全性を維持する。
5.スパッタリングシステムのメンテナンス
デューティサイクルの適切な管理、高品質のターゲット材料の確保、清潔で制御された運転環境の維持は、スパッタリングターゲットの寿命を延ばすための重要な要素である。
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