XRF（蛍光X線）分析は、通常1～1000 µmの深さまで試料を透過します。
浸透深度は試料中の元素の原子量に影響されます。
重い元素に比べ、軽い元素は深いレベルでは検出されにくい。
これは、分析中に放出される特徴的なX線が、一般的にこれらの深さの表面原子によるものであるためです。
異なる深さの元素を検出する能力は、正確な分析にとって極めて重要です。
これは、蛍光X線分析装置が受信する信号に影響します。
高エネルギー元素、一般的に原子番号の高い元素は、試料中の脱出深度が深くなります。
つまり、低エネルギー元素と比較して、より深い層から検出することができます。
この深さ感度は、蛍光X線分析結果の準備と解釈における重要な要素です。
4つの重要な洞察
1.浸透深度範囲
XRF分析は通常、試料を1～1000 µmの深さまで浸透させます。
2.原子量の影響
浸透深度は、試料中の元素の原子量に影響されます。
3.元素の検出
軽い元素は重い元素に比べ、深いレベルでは検出されにくい。
4.深さ感度
エネルギーが高い元素は、脱出深度が深いため、より深い層から検出することができます。
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