XRF(蛍光X線)分析は通常、試料を1~1000 µmの深さまで浸透させます。浸透深度は試料中の元素の原子量に影響され、軽い元素は重い元素に比べて深いレベルでは検出されにくい。これは、分析中に放出される特徴的なX線が、一般的にこれらの深さの表面原子によるものであるためです。異なる深さの元素を検出できるかどうかは、蛍光X線分析装置が受信する信号に影響するため、正確な分析には非常に重要です。高エネルギー元素(一般に原子番号の大きい元素)は、試料中の脱出深度が深いため、低エネルギー元素に比べてより深い層から検出できます。この深さ感度は、蛍光X線分析結果の準備と解釈において重要な要素です。
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