スパッタリングターゲットには、直径1インチ以下の小さなものから、長さが1ヤードを超える巨大なものまで、さまざまなサイズがある。
スパッタリングターゲットのサイズは？考慮すべき5つのポイント
1.サイズのばらつき
スパッタリングターゲットの大きさは、作成する薄膜の特定のニーズに大きく依存する。
直径1インチ以下の小型ターゲットは、最小限の材料堆積を必要とする用途に理想的です。
一方、長さが1ヤードを超えるような大きなターゲットは、大量の材料堆積が必要な用途に使用される。
2.形状とカスタマイズ
伝統的に、スパッタリングターゲットは長方形か円形である。
しかし、最新の製造技術により、正方形、三角形、回転ターゲットのような円筒形など、さまざまな形状のターゲットの製造が可能になった。
これらの特殊な形状は、成膜プロセスを最適化するように設計されており、より精密で高速な成膜速度を提供する。
3.セグメンテーション
非常に大規模なスパッタリング用途では、技術的または装置的な制限により、単一ピースのターゲットは実用的でない場合がある。
そのような場合、ターゲットを小片に分割し、突き合わせ継手や斜め継手のような特殊な継手を用いて接合する。
この方法により、成膜プロセスの完全性を損なうことなく、大きなターゲットを作成することができる。
4.標準サイズとカスタムサイズ
メーカーは通常、円形と長方形の両方のターゲットについて、さまざまな標準サイズを提供している。
しかし、カスタムの要望にも対応し、顧客が特定の用途のニーズに最も適した寸法を指定できるようにしている。
このような柔軟性により、スパッタリングプロセスは、さまざまな業界や用途の要件を正確に満たすように調整することができます。
5.純度と材料に関する考察
ターゲットのサイズと形状だけでなく、材料の純度も重要です。
ターゲットの純度は、金属や用途に応じて、99.5%から99.9999%まで様々なレベルがあります。
純度が高いほど薄膜の品質は向上しますが、材料コストが高くなる可能性もあります。
したがって、適切な純度レベルを選択することは、コストと性能のバランスをとることである。
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