技術チーム · Kintek Solution

スパッタリングターゲットの大きさはさまざまで、直径1インチ（2.5cm）未満のものから、長方形のものでは長さ1ヤード（0.9m）を超えるものまである。標準的な円形ターゲットの直径は通常1インチから20インチで、長方形ターゲットの長さは最大2000mm以上になる。

詳しい説明

1. サイズのバリエーション:スパッタリングターゲットのサイズは、作成する薄膜の特定の要件に大きく依存します。多くの場合直径1インチ以下の小さなターゲットは、より少ない材料堆積を必要とする用途に適しています。逆に、長さが1ヤードを超えるような大きなターゲットは、大量の材料堆積を必要とする用途に使用されます。

2. 形状とカスタマイズ:伝統的に、スパッタリングターゲットは長方形か円形である。しかし、製造の進歩により、正方形、三角形、回転ターゲットのような円筒形など、さまざまな形状のターゲットが製造されるようになった。これらの特殊な形状は、成膜プロセスを最適化するように設計されており、より精密で高速な成膜速度を提供する。

3. セグメンテーション:非常に大規模なスパッタリング用途では、技術的制限や装置の制約により、単一ピースのターゲットは実現不可能な場合があります。このような場合、ターゲットを小片に分割し、突き合わせ継手や斜め継手のような特殊な継手を使用して接合する。このアプローチにより、蒸着プロセスの完全性を損なうことなく、大きなターゲットを作成することができます。

4. 標準サイズとカスタムサイズ:メーカーは通常、円形と長方形の両方のターゲットについて、さまざまな標準サイズを提供しています。しかし、特注の要望にも対応し、顧客が特定の用途のニーズに最も適した寸法を指定できるようにしている。こ の よ う な 柔 軟 性 に よ り 、ス パ ッ タ リ ン グ プ ロ セ ス は さ ま ざ ま な 業 界 や 用 途 の 要 件 に ぴ っ た り 合 わ せ る こ と が で き ま す 。

5. 純度と材料に関する考察:ターゲットのサイズと形状だけでなく、材料の純度も重要です。ターゲットの純度は、金属や用途に応じて、99.5%から99.9999%まで様々です。純度が高いほど薄膜の品質は向上しますが、材料コストが高くなる可能性もあります。したがって、適切な純度レベルを選択することは、コストと性能のバランスをとることになる。

まとめると、スパッタリングターゲットは幅広いサイズと形状があり、特定の用途のニーズに合わせてカスタマイズすることも可能である。ターゲットのサイズと形状の選択は、希望する成膜速度、基板のサイズ、薄膜アプリケーションの特定の要件に影響される。

KINTEK SOLUTIONの豊富なスパッタリングターゲットは、精度と汎用性を兼ね備えています。コンパクトなものから巨大なものまで、また最も複雑なアプリケーションに対応する形状など、お客様の成膜ニーズを完璧に調整いたします。標準サイズからカスタム寸法まで、また薄膜の最高品質を保証する純度レベルまで、KINTEK SOLUTIONは一流のスパッタリングターゲットを提供するサプライヤーです。お客様のプロジェクトに最適なターゲットを見つけて、薄膜生産を向上させてください！