フィルムの厚みは通常、様々な技術を用いて測定される。
最も一般的な方法は、スタイラス・プロフィロメトリーやインターフェロメトリーなどの機械的手法である。
これらの方法では、干渉の原理を利用して厚みを測定する。
これは、フィルムの上部と下部の界面から反射する光を分析するものです。
厚みはフィルムの電気的、光学的、機械的、熱的特性に影響するため、非常に重要である。
厚さは数ナノメートルからミクロンに及びます。
4つの主要メソッドの説明
1.スタイラス・プロフィロメトリー
スタイラス・プロフィロメトリーでは、フィルムの表面をスタイラスで物理的にスキャンし、高さの差を測定します。
この高低差が厚みに対応する。
フィルムと基板の間に溝や段差が必要です。
これは、フィルムや基板の一部をマスキングしたり、取り除いたりすることで作成できます。
2.干渉法
干渉計は、フィルムの上面と下面で反射した光波が作り出す干渉パターンを利用する。
干渉縞を明瞭に観察するには、反射率の高い表面が必要である。
厚みは、この干渉縞を分析することによって決定される。
これらの縞は、2つの反射ビーム間の光路差の影響を受ける。
3.測定技術の選択
測定技術の選択は、材料の透明度などの要因に依存する。
また、屈折率や表面粗さなど、必要な追加情報によっても異なります。
例えば、フィルムが透明で厚さが0.3～60μmの範囲内であれば、分光光度計を効果的に使用することができる。
4.膜厚の重要性
薄膜の厚さは、その特性に直接影響するため非常に重要である。
厚さが原子数個分にもなるナノ材料では、望ましい機能と性能を確保するために正確な測定が不可欠です。
産業界は、製品設計と機能性を最適化するためにこれらの測定を利用しています。
正確な厚み測定は、製造工程に不可欠な要素なのです。
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