真空リークテストは、毎時ミクロン単位のリーク率を測定するために使用される重要な手順です。
このテストは、真空システムの完全性と性能を保証するために不可欠です。
真空リークテストの範囲は？ (3つのポイント)
1.重要な用途のリーク率
超合金や反応性金属の処理などの重要な用途では、リーク率は5ミクロン/時未満でなければならない。
2.通常の真空用途のリーク率
通常の真空用途では、許容可能なリーク率は一般的に10～20ミクロン/時です。
3.リーク率テストの実施方法
リーク率テストでは、ファーネスを所定の低圧、通常1 x 10^-4 torrまたはそれ以上までポンピングします。
その後、ポンプシステムを炉室から隔離します。
真空レベルは30分後と60分後にモニターされ記録されます。
この間の真空レベルの差を用いて、1時間当たりのリーク率をミクロン単位で計算します。
この計算されたリーク率を、規定仕様で定義された許容基準と比較する。
この方法により、真空システムの完全性と性能が維持されます。
真空レベルや炉の全体的な効率を低下させるような重大な空気漏れや水漏れを防ぐことができます。
ヘリウム質量分析計を用いたブローイング法や吸引ノズル法などの特定のリーク検出方法を用いることで、リーク検査プロセスの精度と信頼性がさらに高まります。
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