真空リークテストの範囲は、通常、毎時ミクロン単位のリーク率を測定する。超合金や反応性金属の処理のような重要な用途では、リーク率は5ミクロン/時未満であるべきである。通常の真空用途では、許容可能なリーク率は一般に10～20ミクロン/時である。
リーク率テストでは、炉を所定の低圧（通常1 x 10^-4 torr以上）まで排気し、ポンプシステムを炉室から隔離します。真空レベルは30分後と60分後にモニターされ記録される。この間の真空レベルの差から、1時間当たりのリーク率をミクロン単位で計算し、これを規定仕様で定義された許容基準と比較します。
この方法により、真空システムの完全性と性能が維持され、真空レベルや炉の全体的な効率を損なう可能性のある重大な空気漏れや水漏れが防止されます。ヘリウム質量分析計を用いたブローイング法やサクションノズル法などの特定のリーク検出方法を用いることで、リーク検査プロセスの精度と信頼性がさらに高まります。
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