拡散ポンプの最大圧力は、通常10-2～10-10Torr程度です。この範囲は、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に不可欠な高真空レベルを作り出すポンプの能力によって決まります。
拡散ポンプは、可動部のないシンプルな原理で作動するため、耐久性と信頼性に優れています。アイドルモード時に内圧を維持する保持ポンプと連動するように設計されています。ディフュージョンポンプが作動しているときは、ホールディングポンプバルブは隔離され、機械式ポンプとブロワーがバックポンプとして機能します。
極端に低いシステム圧力を必要としない顧客には、拡散ポンプを含む3段システムの代わりに2段システムを使用することができます。2段式システムの場合、拡散ポンプ炉で達成される8.0 x 10-6 Torrとは対照的に、圧力レベルを大気圧から4.5 x 10-2 Torrまで上昇させることができる。このような圧力管理の柔軟性により、拡散ポンプを特定の産業ニーズに合わせて調整し、最適な性能と効率を確保することができます。
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