スパッターコーターは、基板上に薄い材料を成膜するための装置である。これは通常、走査型電子顕微鏡（SEM）用に試料の特性を向上させるために行われる。
このプロセスでは、気体プラズマを使用して固体のターゲット材料から原子を離脱させる。その後、これらの原子を基板表面に蒸着させる。
5つのポイント
1.スパッタリングプロセス
スパッタリングは、真空チャンバー内のカソード（ターゲット材料）とアノードの間にプラズマを発生させることで開始される。
チャンバー内はアルゴンなどのガスで満たされ、電極間に印加される高電圧によってイオン化される。
正電荷を帯びたアルゴンイオンは、負電荷を帯びたカソードに向かって加速される。
これらのイオンはターゲット物質と衝突し、その表面から原子を放出する。
2.材料の蒸着
ターゲット材料から放出された原子は、基板表面に全方向から蒸着される。
これにより、薄く均一なコーティングが形成される。
このコーティングは、帯電を防止し、熱損傷を低減し、二次電子の放出を促進する導電層を提供するため、SEMアプリケーションにとって極めて重要である。
3.スパッタコーティングの利点
スパッタコーティングには、他の成膜技術と比較していくつかの利点がある。
生成される膜は均一で緻密、純度が高く、基板との密着性に優れている。
また、反応性スパッタリングによって、精密な組成の合金を作製したり、酸化物や窒化物のような化合物を成膜したりすることも可能である。
4.スパッタコーターの動作
スパッターコーターは、ターゲット材料の安定した均一な浸食を維持することによって作動する。
磁石を使用してプラズマを制御し、スパッタされた材料が基板上に均一に分布するようにします。
コーティングの厚みと品質の精度と一貫性を確保するため、このプロセスは通常自動化されている。
5.SEMへの応用
SEMでは、金や白金のような金属の薄い層を蒸着して試料を作製するためにスパッタコーティングが使用されます。
この層は試料の導電性を向上させ、帯電の影響を軽減し、電子ビームに対する構造的保護を提供する。
これにより、SEM画像の品質が向上します。
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