拡散ポンプは、高真空環境を必要とする産業において不可欠なツールです。
これらのポンプは、主に可動部品がないため、その耐久性と信頼性で知られています。
10^-2～10^-10torrの真空範囲で効率的に作動します。
4つの主要産業
1.電子ビーム顕微鏡
拡散ポンプは電子ビーム顕微鏡において極めて重要である。
残留ガスによる電子ビームの散乱を防ぐには、高真空条件が必要です。
高真空は、電子ビームが妨げられることなく進むことを保証し、試料の高解像度イメージングを可能にする。
2.真空蒸着とコーティング
真空蒸着では、材料を真空環境で気化させ、基板上に蒸着させて薄膜を形成する。
必要な高真空を作り、維持するために拡散ポンプが使用される。
これにより、気化した粒子がガス分子の干渉を受けずに直接基板に移動し、高品質で均一なコーティングが実現します。
3.真空炉
真空炉では、空気の存在下で起こりうる酸化やその他の化学反応を防ぐため、真空中で材料を加熱する。
拡散ポンプを使用して、炉内を必要な真空レベルまで排気します。
これにより、材料は制御された不活性環境で加熱されることになり、アニール、ろう付け、焼結などの工程で特に重要な役割を果たします。
4.メンテナンスと運転上の注意点
拡散ポンプのメンテナンスは比較的簡単である。
オイルの適切なレベルを維持し、ヒーターの動作状態を確保することに重点を置く。
性能を最大限に引き出し、メンテナンスの必要性を最小限に抑えるために、高品質のオイルを使用することが重要である。
ディフュージョンポンプの動作原理は、沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕獲し、それを移動・冷却して空気分子を放出し、高真空環境を作り出すというものです。
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