蛍光X線分析装置には、主に2つのタイプがあります:エネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)と波長分散型蛍光X線分析装置(WD-XRF)です。
エネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF) は、シンプルで使いやすいことが特徴です。複数の元素から同時に信号を収集することができ、150 eVから600 eVの分解能を提供します。このタイプの装置は、複数の元素の同時分析が必要で、中程度の分解能で十分なアプリケーションに適しています。
波長分散型蛍光X線分析装置(WD-XRF)一方、波長分散型蛍光X線分析装置(WD-XRF)は、ゴニオメータを使用して、異なる角度で一度に1つの信号を収集します。これらの装置は一般的にED-XRFに比べて複雑で高価ですが、5eVから20eVの範囲でかなり高い分解能を提供します。WD-XRFは分解能が高いため、特に微量元素や同位体の検出が重要な、精密な元素分析を必要とする用途に適しています。
どちらのタイプの蛍光X線分析装置も、セメント、金属鉱石、鉱物鉱石、石油・ガス、環境、地質学的アプリケーションなど、さまざまな産業で広く使用されています。ED-XRFとWD-XRFのどちらを選択するかは、特定の分析要件、予算、分析に必要な精度のレベルによって決まります。
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